[发明专利]低温泵系统、超低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法

权利要求书

1.一种低温泵系统，其特征在于，

具备：低温泵，具备低温板和用于冷却该低温板的制冷机；

压缩机单元，用于将工作气体供给于所述制冷机；及

控制部，用于选择性执行利用通用控制量的所述压缩机单元的至少2种运行控制中的任一种，

所述至少2种运行控制包括：第1运行控制，以控制与供给气体量相关联的第1控制对象的方式，利用所述通用控制量来运行所述压缩机单元；及第2运行控制，以控制与供给气体量相关联且与所述第1控制对象不同的第2控制对象的方式，利用所述通用控制量来运行所述压缩机单元，

所述控制部根据至少2个所述通用控制量的值的比较，从所述至少2种运行控制之中选择应执行的运行控制，所述至少2个通用控制量的值包括用于所述第1运行控制的所述通用控制量的值和用于所述第2运行控制的所述通用控制量的值。

2.如权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，

所述第1运行控制为当前所选择的运行控制，所述第2运行控制为当前未被选择的运行控制中的任一种，

当用于所述第1运行控制的所述通用控制量的值与用于所述第2运行控制的所述通用控制量的值的大小关系发生变化时，所述控制部将所述第1运行控制切换为所述第2运行控制。

3.如权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，

所述第1运行控制为作为常态而选择的运行控制，

所述第2运行控制为压缩机保护控制，该压缩机保护控制为了保护所述压缩机单元而根据对所述第2控制对象设定的目标值与所述第2控制对象之间的偏差来确定所述通用控制量。

4.如权利要求1至3中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，

所述第1控制对象为所述压缩机单元的吐出侧压力与吸入侧压力之间的差压，所述第1运行控制为根据该差压的目标值与该差压之间的偏差来确定所述通用控制量的差压控制，

所述第2控制对象为所述压缩机单元的吐出侧压力，所述第2运行控制为根据该吐出侧压力的目标值与该吐出侧压力之间的偏差来确定所述通用控制量的吐出压控制。

5.如权利要求1至4中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，

所述至少2种运行控制进一步包括第3运行控制，所述第3运行控制以控制与供给气体量相关联的第3控制对象的方式利用所述通用控制量来运行所述压缩机单元，

所述控制部根据至少3个所述通用控制量的值来从所述至少2种运行控制中选择应执行的运行控制，其中所述至少3个通用控制量的值包括用于所述第1运行控制的所述通用控制量的值和用于所述第2运行控制的所述通用控制量的值和用于所述第3运行控制的所述通用控制量的值，

所述第3控制对象为所述压缩机单元的吸入侧压力，所述第3运行控制为根据该吸入侧压力的目标值与该吸入侧压力之间的偏差来确定所述通用控制量的吸入压控制。

6.一种超低温系统，其特征在于，具备：

至少1个超低温制冷机；

至少1个压缩机单元，用于将工作气体供给于所述至少1个超低温制冷机；及

控制部，根据用于评价运行状态的通用的评价参数，来选择性执行所述至少2种控制中的任一种，其中所述运行状态为由所述压缩机单元的至少2种控制所分别形成的运行状态。

7.如权利要求6所述的超低温系统，其特征在于，

所述至少1个压缩机单元为多个压缩机单元，

所述控制部对所述多个压缩机单元的每一个单独执行所述至少2种控制的选择。

8.一种压缩机单元的控制装置，该压缩机单元将用于使超低温装置产生寒冷的工作气体供给于该超低温装置，该压缩机单元的控制装置的特征在于，具备：

控制量运算部，对包括第1控制量和与所述第1控制量通用的第2控制量在内的至少2个控制量进行运算，其中，所述第1控制量用于控制与从所述压缩机单元向所述超低温装置供给的气体量相关联的第1控制对象，所述第2控制量用于控制与所述供给气体量相关联且与所述第1控制对象不同的第2控制对象；及

选择部，根据所述至少2个控制量的比较，从包括所述第1控制对象和所述第2控制对象在内的至少2个控制对象中选择应控制的控制对象。