[发明专利]一种对互连结构进行电容提取的方法

权利要求书

1.一种对互连结构进行电容提取的方法，其特征在于，应用于一导体，导体的导体表面包括多个三角形边界元；每一个三角形边界元中设置至少一个变动点，方法包括：

获取各个所述三角形边界元的变动点坐标；

在每个所述变动点上设置一个独立随机变量和一个非独立随机变量，独立随机变量表示垂直于变动点所在表面的第一方向的变动，非独立随机变量表示第二方向的变动传递到所述变动点的力；

将各个所述独立随机变量和非独立随机变量加入对应的所述变动点坐标中，形成一等效导体表面；

计算所述等效导体表面的等效电容。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述三角形边界元是等边直角三角形，且任意两个三角形边界元之间共用一条边；

获取各个三角形边界元的变动点坐标，具体包括：所述变动点坐标是所述三角形边界元的顶点坐标。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在每个变动点上设置一个独立随机变量和一个非独立随机变量，独立随机变量表示垂直于变动点所在表面的第一方向的变动；非独立随机变量表示第二方向的变动传递到变动点的力，具体包括：

步骤a，获取导体的各个相关表面的协方差矩阵Δn；

步骤b，根据协方差矩阵Δn的个数生成对应数目组的互相独立的正态分布随机数ζ，其中，正态分布随机数ζ表示三角形边界元的变动量；

步骤c，获取各个变动点的独立随机变量ξ；

步骤d，获取各个变动点的非独立随机变量ξ*。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取导体的各个相关表面的协方差矩阵Δn；具体包括：

导体有4个表面：顶面、底面、左侧面和右侧面，当平行的所述导体的数目等于或者大于两个时，各个导体的对应的面之间存在着相关性，采用协方差矩阵Δn对相关性进行描述，则有四个协方差矩阵Δn，包括：

平行的各个导体的顶面对应着一个协方差矩阵Δn；

平行的各个导体的底面对应着一个协方差矩阵Δn；

平行的各个导体的左侧面对应着一个协方差矩阵Δn；

平行的各个导体的右侧面对应着一个协方差矩阵Δn。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据协方差矩阵Δn的个数生成对应数目组的互相独立的正态分布随机数ζ，具体包括：

采用一组独立随机变量表示三角形边界元的变动量，表示所述三角形边界元的位置对应的变动点坐标，变动量的概率密度函数为：

f(ζ(r→))=12πσexp(-ζ2(r→)2σ2),]]>其中σ为变动标准差。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，获取各个变动点的独立随机变量ξ，具体包括：

根据协方差矩阵的个数生成对应数目组的互相独立的正态分布随机数ζ，其中，ζ表示边界元的变动量；

根据正态分布随机数ζ得到独立随机变量ξ=L*ζ。