[发明专利]用于激光材料加工的经过色彩校正的F-θ物镜

权利要求书

1.一种经过宽带色彩校正的并且热稳定的F-θ物镜，其特征在于，该F-θ物镜包括六个独立的透镜，这些独立的透镜中具有一个作为双凹透镜的第一独立的透镜L₁，一个作为凹凸透镜的第二独立的透镜L₂，一个作为双凸透镜的第三独立的透镜L₃，一个作为平凸透镜的第四独立的透镜L₄，一个作为双凸透镜的第五独立的透镜L₅以及一个作为双凹透镜的第六独立的透镜L₆，其中对于这些独立的透镜使用了至少两种不同的材料，这些材料对于1065nm到1075nm的波长范围具有尽可能低的光吸收，并且这些材料具有的折光率在这个波长范围内随温度在相反的方向上变化。

2.如权利要求1所述的F-θ物镜，其特征在于，该第一独立的透镜L₁和第六独立的透镜L₆的材料是石英玻璃，并且该第二至第五独立的透镜L₂至L₅的材料是氟化钙。

3.如权利要求2所述的F-θ物镜，其特征在于，这些独立的透镜L₁到L₆以及它们沿一个光轴的设置满足以下要求：

其中r是这些透镜L₁到L₆的光学活性表面的半径和一个下游防护玻璃SG的光学活性表面的半径；并且d是这些透镜L₁到L₆、该防护玻璃SG、并且还有设置于该第一透镜L₁上游的一个入射光瞳EP以及设置于该防护玻璃SG下游的一个像场平面BE的厚度和距离；r和d是在光束穿过的方向上沿该光轴A进行编号的。