[发明专利]超声扫描显微镜的承片台夹紧装置及调平方法有效
申请号: | 201210581987.1 | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN103048391A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 陶利权;黄晓鹏;付纯鹤;张继静 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
主分类号: | G01N29/22 | 分类号: | G01N29/22;G01N29/26 |
代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人: | 朱丽岩;刘湘舟 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超声 扫描 显微镜 承片台 夹紧 装置 平方 | ||
1.一种超声扫描显微镜的承片台夹紧装置,包括底座(4)以及承片台(3)或者标准料盒(24),其特征在于:所述底座(4)上的两端分别固定一个固定式托架结构(1)和一个活动式托架结构(2),所述固定式托架结构(1)和活动式托架结构(2)之间托持并夹紧所述承片台(3)或者标准料盒(24)。
2.根据权利要求1所述的超声扫描显微镜的承片台夹紧装置,其特征在于:所述固定式托架结构(1)由左立柱(8)、左上座(5)、左立杆(6)和左托架(7)构成,所述左立柱(8)底端通过螺钉固定在所述底座(4)上,上端通过两个锁紧螺钉(9)和两个调整螺钉(10)连接左上座(5)的外侧,所述左上座(5)的内侧两端以轴孔结构形式通过螺钉分别连接一个左立杆(6),所述两个左立杆(6)的下端以螺纹连接形式共同连接一个左托架(7),所述左托架(7)的上表面外端设有承片台(3)的托持面(A)和标准料盒(24)的托持面(B),
所述活动式托架结构(2)由右立柱(8’)、固定上座(11)、右立杆(6’)、 活动上座(12)和右托架(13)构成,所述右立柱(8’)底端通过螺钉固定在所述底座(4)上,上端通过两个锁紧螺钉(9)和两个调整螺钉(10)连接所述固定上座(11),所述固定上座(11)通过两个导向装置(14)、一个复位装置(15)和一个限位装置(16)连接所述活动上座(12),所述活动上座(12)两端以轴孔结构形式通过螺钉分别各连接一个右立杆(6’),所述两个右立杆(6’)的下端以螺纹连接形式共同连接一个所述右托架(13),所述右托架(13)的上表面外端设有承片台(3)的托持面(A)和标准料盒(24)的托持面(B)。
3.根据权利要求1或2所述的超声扫描显微镜的承片台夹紧装置,其特征在于:所述两个导向装置(14)各自由固定上座(11)、活动上座(12)、直线轴承(17)、导向杆(18)、轴承挡圈(19)和固定螺钉(19)共同组成,所述活动上盖(12)上设有同轴心的阶梯孔,所述阶梯孔的大孔中设有直线轴承(17),所述直线轴承(17)通过轴承挡圈(19)固定在阶梯孔的大孔上,所述直线轴承(17)的中心孔中设有导向杆(18),所述导向杆(18)的另一端处在所述固定上座(11)的装配孔中并通过固定螺钉(19)固定在固定上座(11)上,
所述复位装置(15)由所述固定上座(11)、活动上座(12)、弹簧杆(21)和压簧(22)共同组成,所述固定上座(11)设有同轴心的弹簧孔和螺纹孔,所述活动上座(12)设有同轴心的弹簧孔和盲孔,所述固定上座(11)与活动上座(12)的弹簧孔中共同置有压簧(22),所述压簧(22)套接在弹簧杆(21)上,弹簧杆(21)的另一螺柱端螺纹连接在固定上座(11)的所述螺纹孔中,
所述限位装置(16)由固定上座(11)、活动上座(12)、和调整螺钉(23)共同构成,所述固定上座(11)设有阶梯状光滑孔,所述活动上座(12)设有螺纹孔,所述调整螺钉(23)的螺钉头部分处在所述固定上座(11)的阶梯状光滑孔中,螺钉部分螺纹连接在所述活动上座(12)的螺纹孔中。
4.根据权利要求3所述的超声扫描显微镜的承片台夹紧装置,其特征在于:所述活动上座(12)连接的右托架(13)通过所述导向装置(14)、复位装置(15)以及限位装置(16)相对固定上座(11)具有一个手动的往返直线运动轨迹。
5.根据权利要求2所述的超声扫描显微镜的承片台夹紧装置,其特征在于:所述左托架(7)或者右托架(13)的承片台(3)的托持面(A)处在所述标准料盒(24)的托持面(B)的两端且承片台(3)的托持面(A)高于标准料盒(24)的托持面(B)。
6.根据权利要求2所述的超声扫描显微镜的承片台夹紧装置,其特征在于:所述左立柱(6)、右立柱(6’)、左托架(7)以及右托架(13)由不生锈材料PMMA制成。
7.一种超声扫描显微镜的承片台夹紧装置的调平方法,其特征在于方法中包括以下步骤:
步骤1:手控将活动上座(12)回拉,使右托架(13)与左托架(7)张开;检查确定左托架(7)和右托架(13)上的A面是放置承片台(4)的结合面,B面是放置需置换的标准料盒(24)的结合面且应完好;
步骤2:将承片台(3)或者标准料盒24放在左托架(7)的相应的角边对齐后,松开活动上座(12)完成对承片台(3)或者标准料盒(24)夹紧操作;
步骤3:适当拧松锁紧螺钉(9),利用吸附在X、Y向驱动轴上的测量表头,相对承片台(3)的表面进行X、Y向有效行程移动并参照表值变化依次对调整螺钉(10)进行调节,直至承片台(3)表面的水平精度达标;
步骤4:将锁紧螺钉(9)紧固;进行超声扫描显微镜下的承片台夹检查工作。
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