[发明专利]一种用于折反射式投影物镜的热效应控制装置

权利要求书

1.一种用于折反射式投影物镜的热效应控制装置，所述热效应控制装置包括热效应校正光束产生装置、反射镜和挡光片，热效应校正光束产生装置出射的校正光束的数值孔径与投影物镜物方数值孔径一致，校正光束入射至投影物镜的前组的第一个镜片，在该镜片上，校正光束的位置、形状与经过掩模的有效成像光束的位置、形状关于X轴对称分布，且互不交叠，使所述镜片上的光能量呈对称分布，所述镜片表面由于热效应产生的形变也呈对称分布状态，所述校正光束由挡光片阻挡，而不入射至投影物镜的反射镜组上。

2.根据权利要求1所述的热效应控制装置，其中，所述热效应校正光束产生装置包括光源单元、匀光单元、中继单元。

3.根据权利要求2所述的热效应控制装置，其中，所述光源单元包括光源和聚光镜组，所述光源包括发光单元和灯室。

4.根据权利要求3所述的热效应控制装置，其中，所述发光单元为汞灯、氙灯或卤钨灯，所述灯室为椭球面反射镜。

5.根据权利要求4所述的热效应控制装置，其中，所述椭球面反射镜的端部为一平面反射镜。

6.根据权利要求3-5之一所述的热效应控制装置，其中，所述聚光镜组为正光焦度镜组，包括一衰减片。

7.根据权利要求2所述的热效应控制装置，其中，所述匀光单元为石英棒。

8.根据权利要求7所述的热效应控制装置，其中，光束经所述聚光单元聚光后的汇聚点与石英棒的入射端面之间的距离小于8mm。

9.根据权利要求2或8之一所述的热效应控制装置，其中，所述匀光单元为入射端面结合有微透镜阵列的石英棒。

10.根据权利要求9所述的热效应控制装置，其中，光束经所述聚光单元聚光后的汇聚点与微透镜阵列的入射面之间的距离小于5mm。

11.根据权利要求2所述的热效应控制装置，其中，所述光源单元包括可调激光光源和扩束单元，所述扩束单元对激光光源发出的激光光束进行扩束准直。

12.根据权利要求11所述的热效应控制装置，其中，所述匀光单元包括微透镜阵列。

13.根据权利要求12所述的热效应控制装置，其中，所述反射镜为矩形镜片。

14.根据权利要求1所述的热效应控制装置，其中，所述挡光片设置在所述投影物镜的前组透镜组和反射镜组之间。

15.根据权利要求1或14之一所述的热效应控制装置，其中，所述挡光片用于吸收校正光束，避免产生杂散光。