[发明专利]用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的装置及其方法

权利要求书

1.用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的装置，其特征在于：包含有激光器（1）、光闸（2）、扩束镜（3）、全反镜片组（4）、振镜系统（5）和远心场镜（6），所述激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有全反镜片组（4），全反镜片组（4）的输出端依次布置有振镜系统（5）和远心场镜（6），远心场镜（6）的输出端正对于真空吸附平台（11），所述真空吸附平台（11）的上方布置有CCD对位观察系统（7），所述真空吸附平台（13）的一侧布置有吹气系统（9），另一侧安装有集尘系统（8）；所述激光器（1）和振镜系统（5）均通过通讯系统（13）与工控机（12）相连。

2.根据权利要求1所述的用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的装置，其特征在于：所述激光器（1）是波长为199nm～1064nm、脉宽在1ps～500ns、频率在1KHz～2MKHz的激光器。

3.权利要求1所述装置用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的方法，其特征在于包含以下步骤：

(S101)取得Cover Lens 玻璃，在玻璃背面印刷油墨，在油墨上面镀ITO导电膜层；

(S102)激光蚀刻ITO导电膜层，激光器（1）发出的激光经光闸（2）控制开关光，光闸（2）控制激光光束后进入扩束镜（3），扩束镜（3）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（3）扩束准直后光束进入全反镜片组（4）调整光路，激光全部反射到振镜系统（5），并通过远心场镜（6）准确控制激光聚焦到玻璃上的导电膜上，聚焦光斑在20um～40um；激光器（1）和振镜系统（5）经过通讯系统（13）与工控机（12）进行数据通信，将扫描图形转化为数字信号，图形转化在需要刻蚀的待加工件（10）上，待加工件（10）由真空吸附平台（11）上吸附；由CCD对位观察系统（7）将导入的定位标拍摄并抓取靶标，控制加工；激光按照设计图形进行蚀刻时，同时打开吹气系统（9）和集尘系统（8），使蚀刻产生的粉尘全部吸入集尘系统（8）中；激光蚀刻完成一个单元后，真空吸附平台（11）移动下一个单元，激光再开始加工，如此反复，实现整个加工幅面的刻蚀。

4.根据权利要求3所述的用于TOL、OGS触控上导电膜层激光刻蚀的方法，其特征在于还包括按以下步骤：

(S103) 油墨上镀激光反射涂层；

(S104) 在激光反射涂层上印刷导电膜层；

(S105) 激光二次蚀刻导电膜层，按照工艺步骤(S102)进行刻蚀。