[发明专利]加工OGS触摸屏的装置及其方法

权利要求书

1.加工OGS触摸屏的装置，其特征在于：包括绿光超短脉冲激光器（1）、45度半透半反镜（4）、45度全反射镜（5）、第一3D动态扫描振镜（6）和第二3D动态扫描振镜（13），所述绿光超短脉冲激光器（1）脉宽在1ps～15ns、频率在1KHz～5MHz的激光器，绿光超短脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有45度半透半反镜（4），45度半透半反镜（4）的输出端设有第一同轴CCD（11）和45度全反射镜（5），所述第一同轴CCD（11）的输出端布置有第一3D动态扫描振镜（6），第一3D动态扫描振镜（6）的输出端布置有第一聚焦镜（7），第一聚焦镜（7）正对于工作平台（9），所述45度全反射镜（5）的输出端设有第二同轴CCD（12），第二同轴CCD（12）的输出端布置有第二3D动态扫描振镜（13），第二3D动态扫描振镜（13）的输出端布置有第二聚焦镜（14），第二聚焦镜（14）正对于工作平台（9）；工作平台（9）的上方安装有吹气装置（8），工作平台（9）的底部安装有集尘装置（10）。

2.权利要求1所述装置加工OGS触摸屏的方法，其特征在于：绿光超短脉冲激光器（1）发出的激光经过光闸（2）控制开关光，光闸（2）控制激光开光后经过扩束镜（3）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（3）扩束后光束经45度半透半反镜（4），光路改向；其中，一路光束经第一3D动态扫描振镜（6）以及第一聚焦镜（7）聚焦在工件的下表面，另一路光束经45度全反射镜（5）进入第二3D动态扫描振镜（13）以及第二聚焦镜（14）聚焦在工件的下表面；控制系统将切割图形转化为数字信号，然后驱动3D动态扫描振镜中的反射镜片扫描加工图形，第一同轴CCD（11）和第二同轴CCD（12）在加工开始前对工件进行精确定位，利用抓靶程序抓取工件上的定位标志，计算补偿值；加工开始后，吹气装置（8）和集尘装置（10）开始工作，将切割残渣排除；加工时3D动态扫描振镜自动将焦点提升，由下往上加工工件；

工件的外部直线部分利用刀轮切割，再进行裂片；分片后得到每小片，再用CNC磨棒进行精磨，将边缘崩边减小至20um以内。