[发明专利]一种5N高纯氧化铝多晶料的生产方法

权利要求书

1.一种5N高纯氧化铝多晶料的生产方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

（1）向涂有耐高温涂层的铜管围成的冷坩埚中加入5N高纯氧化铝粉原料，在装填的原料体积的上部四分之一区，加入长和宽均为5～20mm，厚0.1～0.5mm的引燃剂5N高纯金属铝片，所需金属铝量根据坩埚大小计算；

（2）启动循环软水冷却系统，接通高频感应发生器电源，调节频率8～10 MHz，使金属铝被氧化所释放的热量能使周围的氧化铝粉熔融，逐渐形成一个小熔区，熔区相邻的氧化铝粉逐渐熔化，熔体体积不断增大，直至装填原料融化完为止，在冷坩埚壁处形成的渣层和熔体上面形成包壳层；

（3）在包壳层上打一个小孔，将原料从孔中加入到熔体，原料分多次补加，直至熔体达到临界体积为止，熔体保温30～60min；

（4）启动坩埚下降装置，冷坩埚以5～30mm/h速率下降，冷坩埚内熔体自底部向顶部逐渐冷却凝固，直至冷坩埚内所有熔体完全凝固，切断电源，停止加热，并冷却至室温；

（5）取出氧化铝多晶锭，打碎，得到氧化铝多晶碎料，产品外观形态为白色柱状或针状颗粒，密度3.5～3.9g/cm³，堆积密度为2.2～2.6g/cm³，纯度大于5N。

2.如权利要求1所述5N高纯氧化铝多晶料的生产方法，其特征在于冷坩埚和感应线圈的铜管表面涂有化学性质稳定的耐高温涂层材料，涂层材料要求耐1500℃以上高温。