[发明专利]蒸发台用的圆片放置夹具有效
| 申请号： | 201210584442.6 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103014650A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李云海;张顺亮;黄强 | 申请（专利权）人： | 无锡中微高科电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 放置 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括圆片保护盖（11）、内沿设置台阶（2）的环状本体（1），所述台阶（2）上转动设置若干个环形手臂（3），其特征在于：所述环形手臂（3）包括上臂（4），上臂（4）上设置有滑槽（7），紧定螺栓（8）将下臂（5）固定连接于滑槽（7）下端，所述下臂（5）端部设置圆片台阶（9）。
2.如权利要求1所述的蒸发台用的圆片放置夹具，其特征在于：所述环状本体（1）的台阶（2）上沿圆周方向均布定位孔（13），定位栓（6）将环形手臂（3）的上臂（4）固定于台阶（2）的定位孔（13）中，所述定位栓（6）下端部通过定位栓销子（10）卡紧。
3.如权利要求1所述的蒸发台用的圆片放置夹具，其特征在于：所述环形手臂（3）的弧度与环状本体（1）的弧度相同。
4.如权利要求1所述的蒸发台用的圆片放置夹具，其特征在于：所述下臂（5）上设置有螺纹孔（14），紧定螺栓（8）下端旋紧在螺纹孔（14）中。
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