[发明专利]一种传感器及其测量方法

权利要求书

1.一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。

2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于所述的数模转换器输出的模拟电压施加在压电执行器上，控制压电执行器驱动膜片弯曲。

3.如权利要求1所述的传感器，其特征在于所述的压电执行器为压电膜片或压电陶瓷。

4.一种传感器的测量方法，其特征在于包含下列步骤：

1)将数模转换器输出的模拟电压施加在压电执行器上；

2)增加压电执行器上的电压至目标电压；

3)降低压电执行器上的电压；

4)测量膜片上的压力。

5.如权利要求3中所述的传感器测量方法，其特征在于在电压增加过程中，至少包括1个阶梯步骤。

6.如权利要求3中所述的传感器测量方法，其特征在于压电执行器在目标电压作用下驱动膜片弯曲达到或超过迟滞曲线的加载线或卸载线。

7.如权利要求3中所述的传感器测量方法，其特征在于在电压降低过程中，至少包括2个阶梯步骤。