[发明专利]一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法无效
| 申请号： | 201210585439.6 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103074593A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 邵景珍;方晓东;董伟伟;邓赞红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/08 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 准分子激光 提高 柔性 azo 薄膜 光电 性能 方法 | ||
1.一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：采用柔性衬底，并在柔性衬底上制备铝掺氧化锌薄膜，利用准分子激光退火装置对铝掺氧化锌薄膜进行退火处理，通过改变准分子激光退火装置出射激光束的参数来调节光束能量密度，从而使铝掺氧化锌薄膜达到最佳退火效果。
2.根据权利要求1所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：所述柔性衬底为柔性透明聚酯薄膜材料制成，优选聚乙烯对苯二甲酯材料，或者是聚酰亚胺材料，或者是聚碳酸酯材料，或者是聚醚砜材料。
3.根据权利要求1所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：所述铝掺杂氧化锌薄膜通过现有AZO薄膜制备技术制备在柔性衬底上，优选磁控溅射法，或者是脉冲激光沉积法，或者是溶胶凝胶法，或者是真空蒸镀法。
4.根据权利要求1所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：所述准分子激光退火装置包括承载柔性衬底的基底、依次设置在基底上方的凸透镜、光阑、光束均匀器、反射镜，以及准分子激光器和准分子激光器的电源控制器，所述准分子激光器的出射激光束光经过反射镜反射后，再依次经过光束均匀器均匀、光阑调节、凸透镜会聚至的柔性衬底上的铝掺氧化锌薄膜。
5.根据权利要求4所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：所述准分子激光器优选KrF激光器，或者是ArF激光器，或者是XeCl激光器，或者是XeF激光器。
6.根据权利要求4所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：所述光束均匀器由一组光楔组成。
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