[发明专利]一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法

权利要求书

1.一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：采用电磁辐射在线检测分析设备进行监测，所述电磁辐射在线检测分析设备由信号显示和分析仪器、接入信号显示和分析仪器的信号采集处理器、分别接入信号采集处理器的多个探测器构成；根据准分子激光系统的结构和电路特点，选择合适种类的探测器，并设定在准分子激光系统上的检测方位、电磁辐射在线检测分析设备中探测器距离检测方位的检测距离、电磁辐射在线检测分析设备的检测时间，利用电磁辐射在线检测分析设备中的探测器探测来自准分子激光系统中各个主要电磁辐射源及准分子激光系统整体的电磁辐射信号；探测器探测到的电磁辐射信号被信号采集处理器采集后得到准分子激光系统中各个主要电磁辐射源及准分子激光系统整体的电磁辐射数据，电磁辐射数据送入信号显示和分析仪器中进行分析后得到准分子激光系统中各个主要电磁辐射源的电磁辐射信号强度、传输和变化特性。

2.根据权利要求1所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：根据准分子激光系统的结构和电路特点，选择具有合适频谱响应范围、灵敏度、强度响应波段的探测器。

3.根据权利要求2所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：所述探测器的频谱响应覆盖100Hz~3GHz范围。

4.根据权利要求1所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：所述主要电磁辐射源分别为由主放电电极间的辉光放电构成的主放电回路、高压放电开关、紫外预电离放电、电源部分。

5.根据权利要求4所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：所述主放电电极为张氏主放电电极、Rokovski主放电电极以及其它电极。

6.根据权利要求4所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：所述高压放电开关为球隙放电高压放电开关、氢闸流管高压放电开关、半导体固体放电开关、磁脉冲压缩固体高压放电开关以及其它高压放电开关。

7.根据权利要求4所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：所述紫外预电离放电为放电针紫外预电离、电晕紫外预电离以及其它紫外预电离放电。

8.根据权利要求4所述的一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，其特征在于：所述电源部分包括谐振充电电源、倍压充电电路、开关充电电源以及其他电源。