[发明专利]一种压力精密调节装置

权利要求书

1.一种压力精密调节装置，其特征性在于，包括：

执行机构(1)，其包括弹性敏感元件(3)、弹性形变转换装置(4)、步进电机及驱动器(5)、粗压调节机构(6)以及造压腔(11)，所述造压腔(11)和所述弹性敏感元件(3)的腔体相通，腔体内部压力相等；

控制机构(2)，其包括处理器(7)、触摸屏(8)、模拟数字转换器(9)、压力传感器(10)，所述压力传感器(10)感测所述造压腔(11)内的压力，输出电信号，所述电信号经所述模拟数字转换器(9)转换后，由所述处理器(7)解算，获取当前压力值后，所述处理器(7)通过比较用户通过所述触摸屏(8)输入的压力设定值与压力当前值的误差值，将所述误差值与设定误差阈值比较后，对所述执行机构(1)进行双闭环控制，调节所述造压腔(11)内的压力。

2.如权利要求1所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述双闭环控制进一步包括：

当误差值处于所述设定阈值区间之外时，所述处理器(7)启动内环，控制所述粗压调节机构(6)快速进行粗压调节；

当所述误差值处于所述误差阈值区间之内时，所述处理器(7)启动外环，控制所述步进电机及驱动器(5)的转向、角度，通过所述弹性形变转换装置(4)改变所述弹性敏感元件(3)的腔体体积，以调节所述造压腔(11)内的压力。

3.如权利要求2所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述当所述误差值处于所述误差阈值区间之内时，所述处理器(7)启动外环，控制所述步进电机及驱动器(5)的转向、角度，通过所述弹性形变转换装置(4)改变所述弹性敏感元件(3)的腔体体积，以调节所述造压腔(11)内的压力，进一步包括：在需要升高所述造压腔(11)内的压力时，减小所述弹性敏感元件(3)的腔体体积；在需要降低所述造压腔(11)内的压力时，增大所述弹性敏感元件(3)的腔体体积。

4.如权利要求1所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述弹性敏感元件(3)为弹簧管、波纹管或弹性膜片。

5.如权利要求1-4任一项所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述压力传感器(10)为硅压阻式压力传感器、谐振式压力传感器、电容式压力传感器。

6.如权利要求1-5任一项所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述模拟数字转换器(9)为∑-Δ型模拟数字转换器(9)。