[发明专利]一种铜电镀液及其电镀工艺有效
| 申请号： | 201210586429.4 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103014787A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 陈蔡喜;罗迎花;蔡志华;刘红霞;牛艳丽;黄超玉 | 申请（专利权）人： | 广东达志环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 马丽丽 |
| 地址： | 510000 广东省广州市经济*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 及其 工艺 | ||
1.一种铜电镀液，所述电镀液主要包含络合剂、主盐、导电盐、光亮剂，其中：
络合剂含量为100~200克/升；
主盐含量为30~100克/升；
导电盐含量为20~50克/升；
光亮剂含量为10~100毫克/升；
电镀液的pH值为9.0~11.0；溶剂为水。
2.如权利要求1所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述络合剂由柠檬酸钠、氨基磺酸钠、葡萄糖酸钠、乙二胺四乙酸二钠中的一种或一种以上的组合。
3.如权利要求2所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠和柠檬酸钠。
4.如权利要求1所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述主盐由硫酸铜、碱式碳酸铜中一种或两种。
5.如权利要求4所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述主盐为碱式碳酸铜，其含量为50~80克/升。
6.如权利要求1所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述导电盐为硫酸钾、硝酸钾中的一种或两种。
7.如权利要求1所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述光亮剂为硫代硫酸钠、硫氰酸钾、呋喃中的一种或一种以上的组合。
8.如权利要求1所述的一种铜电镀液，其特征在于：所述PH值用氨水或硫酸调整。
9.如权利要求1所述的一种铜电镀液的电镀工艺，其特征在于：包括以下步骤：
（1）将金属铜放入上述铜电镀溶液中，作为阳极；
（2）将工件放入上述铜电镀溶液中，作为阴极；
（3）通入直流电源，阴极电流密度0.5~3安培/平方分米，电镀液温度40~55℃,电镀时间2~8分钟。
10.如权利要求9所述的一种铜电镀液的电镀工艺，其特征在于：所述步骤（3）中阴极电流密度为1.0~2.0安培/平方分米；电镀液温度为45~50℃；电镀时间为4~6分钟。
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