[发明专利]主动元件

权利要求书

1.一种主动元件，配置于一基板上，其特征在于该主动元件包括：

一金属层，具有一远离该基板的金属氧化物表面；

一半导体通道层；

一绝缘层，配置于该金属层与该半导体通道层之间；

一源极，配置于该半导体通道层的一侧；以及

一漏极，配置于该半导体通道层的该侧，其中该半导体通道层的一部分暴露于该源极与该漏极之间，且该金属层在该基板上的正投影至少覆盖被该源极与该漏极所暴露出该半导体通道层的该部分在该基板上的正投影。

2.根据权利要求1所述的主动元件，其特征在于其中该半导体通道层位于该金属层与该基板之间，且该源极与该漏极位于该绝缘层与该基板之间。

3.根据权利要求1所述的主动元件，其特征在于还包括一栅极，配置于该半导体通道层与该基板之间。

4.根据权利要求3所述的主动元件，其特征在于还包括一栅绝缘层，配置于该栅极与该半导体通道层之间。

5.根据权利要求1所述的主动元件，其特征在于其中该半导体通道层的材质包括氧化铟镓锌、氧化锌或氧化铟锌。

6.根据权利要求1所述的主动元件，其特征在于其中该金属层的材质为铝，而该金属氧化物表面为一氧化铝表面。

7.根据权利要求1所述的主动元件，其特征在于其中该绝缘层的材质包括一有机绝缘材料或一无机绝缘材料。

8.根据权利要求7所述的主动元件，其特征在于其中该有机绝缘材料包括聚酰亚胺或树脂。

9.根据权利要求7所述的主动元件，其特征在于其中该无机绝缘材料包括氧化硅或二氧化氮。

10.根据权利要求1所述的主动元件，其特征在于其中该金属氧化物表面的氧含量由该金属层远离该基板的一侧朝向该金属层邻近该基板的另一侧逐渐递减。