[发明专利]一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，包括如下步骤：

（1）聚苯乙烯纳米颗粒的制备：将苯乙烯单体加入到水中，加入分散剂，搅拌形成均匀的分散液，通入氮气排空保护反应体系，之后加入阳离子引发剂，在60～80℃条件下反应1～24小时即可得到阳离子型聚苯乙烯胶体；

（2）在步骤1制备得到的PS胶体中加入醇，搅拌得到均匀混合的液体，之后加入氨水，其用量为0.3～8wt%；最后加入TEOS；搅拌12～48小时即可得到复合磨料；

（3）由复合磨料制备抛光液：将步骤2所得的复合磨料进行蒸发去除里面的醇，之后加入一定量的水，复合磨料与水的质量比为1～10%，加入氧化剂的量为0.5～5wt%，再加入缓蚀剂0.01～0.1wt%，最后加入螯合剂0.1～1wt%，搅拌即为聚苯乙烯/氧化硅纳米复合磨料抛光液。

2.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤1中，所述的分散剂选自聚乙烯基吡咯酮、聚N-乙烯基吡咯酮中的一种。

3.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，醇与PS胶体的体积比为5:1～20:1。

4.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，醇选自甲醇、乙醇、异丙醇中的任一种。

5.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，氨水为28wt%的水溶液。

6.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，TEOS的量根据所需要的氧化硅壳层厚度而定，一般为0.1～3wt%。

7.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤3中，蒸发的方法为采用旋转蒸发。

8.如权利要求1所述的一种聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料的制备方法，其特征在于，所述步骤3中，所述的氧化剂为双氧水；所述的缓蚀剂为苯并三唑；所述的螯合剂为甘氨酸。

9.如权利要求1-8任一权利要求所述的聚苯乙烯/氧化硅核壳型纳米复合磨料在化学机械抛光领域的应用。