[发明专利]可动刀口装置

权利要求书

1.一种可动刀口装置，应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左侧X向刀片和右侧X向刀片，所述四片刀片组合形成狭缝窗口，外部照明光束通过所述狭缝窗口将掩膜版图形投影曝光到硅片上，其特征在于，还包括框架和四个直线电机，所述四片刀片与四个直线电机均安装于所述框架内，所述左侧X向刀片与右侧X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片与下部Y向刀片呈Y向排列，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机独立驱动，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿X向运动，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿Y向运动。

2.根据权利要求1所述可动刀口装置，其特征在于，还包括Y向刀片机械互限位装置，所述Y向刀片机械互限位装置设置于所述框架内，所述Y向刀片机械互限位装置位于所述Y向运动层内，所述Y向刀片机械互限位装置位于所述上部Y向刀片和下部Y向刀片之间。

3.根据权利要求2所述可动刀口装置，其特征在于，还包括Y向刀片电气互限位传感器，所述Y向刀片电气互限位传感器设置于所述Y向刀片机械互限位装置上，所述Y向刀片电气互限位传感器用于限制上部Y向刀片与下部Y向刀片之间的距离。

4.根据权利要求3所述可动刀口装置，其特征在于，还包括X向刀片电气互限位传感器，所述X向刀片电气互限位传感器设置于所述框架内，所述X向刀片电气互限位传感器位于所述X向运动层内，所述X向刀片电气互限位传感器用于限制左侧X向刀片与右侧X向刀片之间的距离。

5.根据权利要求1至4任一项所述可动刀口装置，其特征在于，所述框架的材料为铸铁或不锈钢材质。

6.根据权利要求1至4任一项所述可动刀口装置，其特征在于，还包括X向刀片组件，所述X向刀片组件设置于所述框架内，所述X向刀片组件包括X向驱动侧转接件和X向辅助侧转接件，所述X向驱动侧转接件与所述X向辅助侧转接件通过双侧连接件连接，所述直线电机与所述X向驱动侧转接件连接，所述直线电机驱动所述X向驱动侧转接件带动所述X向刀片组件在所述框架内沿X向运动，所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件上均设有Z向夹持件、左侧X向夹持件和右侧X向夹持件，所述Z向夹持件、左侧X向夹持件和右侧X向夹持件夹持住所述左侧X向刀片或右侧X向刀片，使其固定于X向刀片组件上。

7.根据权利要求6所述可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括X向光栅尺读头，所述X向光栅尺读头设置于所述X向驱动侧转接件上，其对应的X向光栅尺设置于所述框架上，所述X向光栅尺读头通过读取所述X向光栅尺的刻度来控制所述X向刀片组件的X向位移。

8.根据权利要求6所述的可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括X向传感器探测片，所述X向传感器探测片设置于所述X向驱动侧转接件上，其对应的X向传感器设置于所述框架上，所述X向传感器探测片通过所述X向传感器限制所述左侧X向刀片或所述右侧X向刀片的最大位移量。

9.根据权利要求6所述的可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括冷却装置，所述冷却装置包括冷却液通道、冷却液进水接头、冷却液出水接头和通道连接件，所述冷却液通道分别设置于所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内，所述通道连接件连通所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内的冷却液通道，所述冷却液进水接头与冷却液出水接头分别设置于所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件上，且分别与所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内的冷却液通道连接。

10.根据权利要求6所述的可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括轴承调节装置，所述轴承调节装置包括轴承，所述轴承设置于所述X向辅助侧转接件上，所述框架上设有与所述轴承对应的滑道，使所述轴承能够沿所述滑道运动。