[发明专利]可动镜片微调机构有效
申请号: | 201210587417.3 | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN103901576A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 彭云平;王洪尊;储兆祥;李素平 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镜片 微调 机构 | ||
1.一种可动镜片微调机构,包括若干组微调单元,每组微调单元包括底座、驱动单元和执行单元,所述驱动单元驱动所述执行单元调整镜片座,其特征在于,所述驱动单元包括第一电机和第二电机,所述执行单元包括柔性结构和固定铰链,所述柔性结构包括第一驱动端和第二驱动端,所述柔性结构通过固定铰链与底座转动连接;所述第一电机与所述第一驱动端连接,提供柔性结构水平方向的驱动力;所述第二电机与所述第二驱动端连接,以固定铰链作为支点提供柔性结构转动的驱动力。
2.如权利要求1所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述柔性结构还包括:第一连杆、第二连杆、第三连杆、转动连杆以及连接块;所述第一驱动端通过水平设置的第一连杆与连接块连接,所述连接块通过竖直设置的第三连杆与转动连杆连接,所述转动连杆通过水平设置的第二连杆与第二驱动端连接;所述连接块与镜片座固定,所述转动连杆通过固定铰链与底座转动连接。
3.如权利要求2所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述第一连杆、第二连杆和第三连杆两端开有凹槽。
4.如权利要求1所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述驱动单元还包括第一螺杆、第二螺杆、第一轴连器和第二轴连器,所述第一电机通过第一螺杆和第一轴连器与第一驱动端连接,所述第二电机通过第二螺杆和第二轴连器与第二驱动端连接。
5.如权利要求4所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述第一电机与第二电机通过螺钉固定在底座上。
6.如权利要求5所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述第一电机与第二电机采用亚微米级运动精度的步进电机。
7.如权利要求1至6中任意一项所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述可动镜片微调机构包括三组微调单元。
8.如权利要求7所述的可动镜片微调机构,其特征在于,所述三组微调单元分别设置在镜片座的圆周的三等分点上。
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