[发明专利]一种激光退火装置及其操作方法

权利要求书

1.一种激光退火装置，其特征在于，沿光路依次包括：激光器、准直系统、扩束系统、匀光系统、分光聚焦系统、步进单元、工件台单元、能量监测单元以及轮廓监测系统；从激光器出射的激光，依次经过准直系统、扩束系统、匀光系统后，经分光聚焦系统入射到硅片上；小部分能量经分光后分别入射到能量监测单元和轮廓监测系统；其中，所述步进单元控制曝光光斑进行步进运动，所述工件台单元控制硅片进行扫描运动。

2.根据权利要求1所述的激光退火装置，其特征在于所述步进单元控制分光聚焦系统进行步进运动。

3.根据权利要求1所述的激光退火装置，其特征在于所述步进单元控制一扫描反射镜进行步进运动，所述扫描反射镜位于分光透镜和聚焦透镜之间。

4.根据权利要求3所述的激光退火装置，其特征在于所述步进单元控制扫描反射镜进行扫描运动，所述工件台单元控制硅片进行步进运动。

5.根据权利要求3所述的激光退火装置，其特征在于所述聚焦透镜为一平场透镜。

6.如权利要求1-5之一所述的激光退火装置的操作方法，其特征在于包括如下步骤：

1) 工件台单元控制硅片运动到初始退火区域位置；

2）开启激光退火设备，工件台单元带动硅片在一个方向做扫描运动；

3）步进单元带动分光聚焦系统沿另一个方向步进到下一个退火区域；

4）重复步骤2）。