[发明专利]一种探针自动对准电极测试方法、工具及其装置无效
申请号: | 201210589390.1 | 申请日: | 2012-12-31 |
公开(公告)号: | CN103063887A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 刘坚 | 申请(专利权)人: | 福建合顺微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/28 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350018 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探针 自动 对准 电极 测试 方法 工具 及其 装置 | ||
1.一种探针自动对准电极对准测试工具,其特征在于:包括导引板,所述导引板上开设有多个并列平行的导引槽,相邻的两个导引槽之间形成隔离测试探针的隔板,所述导引槽的端部具有引导被测体电极进入导引槽内的第一入口,所述第一入口为喇叭形开口,所述导引槽的侧部具有引导测试探针进入导引槽内的第二入口。
2.根据权利要求1所述的探针自动对准电极对准测试工具,其特征在于:所述第二入口为喇叭形开口。
3.一种探针自动对准电极对准测试装置,其特征在于:包括多个如权利要求1所述的探针自动对准电极对准测试工具,该些探针自动对准电极对准测试工具制作成一体、组合成一体或串接起来。
4.一种探针自动对准电极对准测试方法,其特征在于,按以下步骤进行:(1)提供一种如权利要求1所述的探针自动对准电极对准测试工具,其中导引槽是根据被测体电极的标准位置而开设的;(2)根据各个被测体电极的电参数需要,安排单个或多重测试探针;(3)从第一入口直接插入被测体电极,所述被测体电极在插入过程中被自动矫正至标准位置;(4)移动测试探针,所述测试探针从第二入口进入导引槽内,并在导引槽的引导下完全不偏位地准确接触被测体电极。
5.根据权利要求4所述的探针自动对准电极对准测试方法,其特征在于:所述第二入口为喇叭形开口。
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