[发明专利]基于MEMS的二维压阻式微力传感器

权利要求书

1.一种基于MEMS的二维压阻式微力传感器，其特征在于所述传感器包括固定支架(1)、检测直梁(2)、外伸梁(3)、锚点(7)、二个半折叠梁(4)、二个第一压阻(5)和二个第二压阻(6)，固定支架(1)为矩形框架且固定支架(1)的一对平行边框中的一个上开有第二通孔(1-1)，检测直梁(2)和二个半折叠梁(4)均设在固定支架(1)内，检测直梁(2)的两端与固定支架(1)固接且平行于开有第二通孔(1-1)的边框，检测直梁(2)侧壁的两端各设一个第一压阻(5)，每个半折叠梁(4)由第一直梁(4-1)、第二直梁(4-2)和桁架(4-3)构成，第一直梁(4-1)的一端与桁架(4-3)的一端连接且二者垂直设置，桁架(4-3)的另一端与第二直梁(4-2)的一端连接且第一直梁(4-1)和第二直梁(4-2)平行设置，二个半折叠梁(4)沿外伸梁(3)的中心轴线对称设置且第一直梁(4-1)的另一端与外伸梁(3)连接，第二直梁(4-2)的长度小于第一直梁(4-1)的长度，二个第二直梁(4-2)之间形成第一通孔(4-4)，第二直梁(4-2)的另一端通过相对应的锚点(7)与开有第二通孔(1-1)的边框连接，外伸梁(3)的一端与检测直梁(2)中部的侧壁连接且二者垂直设置，外伸梁(3)的另一端作为自由端穿过第一直梁(4-1)、第一通孔(4-4)和第二通孔(1-1)设在固定支架(1)的外部，检测直梁(2)、外伸梁(3)和二个半折叠梁(4)连接制成一体，外伸梁(3)沿其长度方向开有应力方孔(3-1)，应力方孔(3-1)的一端位于第一直梁(4-1)和外伸梁(3)连接处，应力方孔(3-1)的另一端靠近外伸梁(3)的自由端，外伸梁(3)上表面设有两个第二压阻(6)，每个第二压阻(6)位于应力方孔(3-1)的孔壁与外伸梁(3)的外侧壁之间，第二压阻(6)的内侧壁与应力方孔(3-1)的孔壁之间相距3-5微米。

2.根据权利要求1所述基于MEMS的二维压阻式微力传感器，其特征在于第二压阻(6)的长度小于应力方孔(3-1)的长度。