[发明专利]易于捡取的防静电晶圆切割膜

权利要求书

1.一种易于捡取的防静电晶圆切割膜，包含基材膜、胶粘层和离型膜，其特征在于：所述基材膜中添加了质量百分比为1％～10％的防静电母料。

2.根据权利要求1所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述防静电母料为季铵盐、铵盐、季铵内盐、烷基咪唑类、烷基氨基酸、多元醇、多元醇酯、脂肪酸醇中的一种或按比例混合的多种。

3.根据权利要求1或2所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述基材膜为低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、高密度聚乙烯、超低密度聚乙烯、无规共聚聚丙烯、嵌段共聚聚丙烯、均聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等聚烯、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、乙烯-丁烯共聚物、乙烯-己烯共聚物、聚氨酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯中的一种或几种。

4.根据权利要求1或2所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于所述胶粘层包括(按质量份数)：

5.根据权利要求4所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述多组分溶剂型丙烯酸压敏胶为双组份溶剂型丙烯酸压敏胶或多组分溶剂型丙烯酸压敏胶，所述多组分溶剂型丙烯酸压敏胶的溶剂为水溶剂或有机溶剂的丙烯酸压敏胶，剥离力为5.0N/in～25.0N/in，固含量20％～60％。

6.根据权利要求4所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述UV单体或UV低聚物为丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸羟基酯、乙二醇类二丙烯酸酯、丙二醇类二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、环氧丙烯酸低聚物、聚氨脂丙烯酸酯低聚物、聚脂丙烯酸酯低聚物、聚醚丙烯酸酯低聚物、纯丙烯酸树脂低聚物中的一种或几种。

7.根据权利要求4所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述光引发剂为苯偶姻、苯偶酰衍生物、α-羟基酮衍生物、α-氨基酮衍生物、酰基膦氧化物、二苯甲酮及其衍生物、三芳基硫鎓盐、芳茂铁盐中的一种或几种。

8.根据权利要求4所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述固化剂为有机过氧化物、多异氰酸酯、金属氧化物中的一种或几种。

9.根据权利要求1或2所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述切割膜添加所述防静电母料后在UV光照射前粘着力大于3.0N/in，在UV光照射后粘着力小于0.5N/in。

10.根据权利要求1或2所述的易于捡取的防静电晶圆切割膜，其特征在于：所述离型膜由PET离型膜或离型纸构成。