[发明专利]转速传感器和用于运行转速传感器的方法

权利要求书

1.转速传感器(1)，其具有包括主延伸平面(100)的衬底(20)、借助于探测弹簧(30)能够运动地固定在所述衬底(20)上的力传递装置(40)和震动质量(50)，其中，所述震动质量(50)通过所述力传递装置(40)如此能够相对于所述衬底(20)运动地悬挂，使得所述震动质量(50)能够借助于驱动装置被激励成绕平行于所述主延伸平面(100)的驱动轴线(102)的驱动振动(102’)，并且在存在平行于所述主延伸平面(100)并且垂直于所述驱动轴线(102)的转速(103’)时所述震动质量(50)由于科里奥利力能够被激励成绕垂直于所述主延伸平面(100)的探测轴线(101)的探测振动(101’)，其特征在于，所述探测弹簧(30)与所述力传递装置(40)在振动节点(71)的区域中耦合。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述力传递装置(40)通过驱动弹簧(41)与所述震动质量(50)耦合，使得力传递装置(40)能够通过所述震动质量(50)的驱动振动被激励成具有所述振动节点(71)的驻波(70)，和/或，所述力传递装置(40)在所述驱动轴线(102)的区域中与所述震动质量(50)耦合。

3.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其中，所述转速传感器(1)具有至少一个相邻的另外的震动质量(51)，其能够借助于另外的驱动装置被激励成绕平行于所述驱动轴线(102)的另外的驱动轴线的另外的驱动振动，其中，所述驱动振动和所述另外的驱动振动彼此反相地定向，其中，所述震动质量(50)和所述另外的震动质量(51)彼此连接。

4.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其中，所述驱动弹簧(41)包括弯曲弹簧，所述弯曲弹簧沿着基本上平行于所述转速的感应方向(103)在所述力传递装置(40)与所述震动质量(50)之间或者在所述力传递装置(40)的凸起(42)与所述震动质量(50)的另一凸起(56)之间延伸。

5.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其中，所述探测弹簧(30)包括弯曲弹簧，所述弯曲弹簧的一个端部区域(31)在所述驻波(70)的振动节点(71)中配合在所述力传递装置(40)上，并且所述弯曲弹簧的另一个端部区域(32)配合在固定在衬底上的锚定点上，其中，所述探测弹簧(30)相对于绕平行于所述探测轴线(101)的弯曲轴线的弯曲比相对于绕平行于所述主延伸平面的弯曲轴线的弯曲更软。

6.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其中，所述震动质量(50)包括第一质量元件(53)和第二质量元件(54)，其中，所述驱动轴线(102)在所述第一质量元件和所述第二质量元件之间延伸，其中，所述第一质量元件和所述第二质量元件通过耦合弹簧(55)彼此耦合，其中，所述第一质量元件和所述第二质量元件与所述力传递装置(40)耦合。

7.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其中，所述转速传感器(1)具有框架(43)，所述框架包括两个平行于感应方向(103)延伸的力传递装置(40)和至少一个平行于所述驱动轴线(102)在两个力传递装置(40)之间延伸的中间区段(44)。

8.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其中，所述力传递装置(40)与探测结构(60)连接，所述探测结构配置用于探测所述探测振动，其中，所述探测结构(60)包括与所述力传递装置(40)刚性连接的探测电极(61)和分配给所述探测电极(61)的固定在衬底上的固定电极。

9.根据权利要求3所述的转速传感器(1)，其中，所述震动质量(50)和所述另外的震动质量(51)通过至少一个弹簧区域(52)弹簧弹性地彼此连接。

10.根据权利要求5所述的转速传感器(1)，其中，所述探测弹簧(30)基本上相对于所述探测轴线(101)径向地设置。

11.根据权利要求6所述的转速传感器(1)，其中，所述第一质量元件和所述第二质量元件分别通过一驱动弹簧(41)与所述力传递装置(40)耦合。

12.根据权利要求7所述的转速传感器(1)，其中，所述中间区段(44)设置在第一质量元件(53)和第二质量元件(54)之间。