[发明专利]一种能自动调压的干式真空泵控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及真空获得领域，具体地说是一种能自动调压的干式真空泵控制方法。

背景技术

传统的干式真空泵，只是接收运行指令，将真空腔体抽到极限真空，工作模式也无外乎满载模式或者节能模式，然而在实际应用中，客户并非只是想要极限真空，客户会有不同的工艺条件，往往需要将真空腔体保持在不同的真空度，现有的技术一般是客户设备上增加各种阀门，通过调整阀门的开度，来调整真空度，泵组本身不对真空度进行监测和控制。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种能自动调压的干式真空泵组，真空度可以从大气到0.1Pa自动调节，该真空泵组有智能控制系统可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种能自动调压的干式真空泵组，包括以下步骤：

步骤1：使真空腔体从大气压到真空状态，复合真空计测量此过程中的真空度参数，并记录在CPU控制单元；

步骤2：CPU控制单元接收人机界面发出的目标真空度指令，完成目标真空度参数设置，将目标真空度参数与已存的真空度参数进行比较，读取已存真空度参数中接近的频率信号发送给三相交流变频器；

步骤3：三相交流变频器通过对三相交流异步电动机转速的改变，控制多级干式真空泵和罗茨真空泵的抽速，使真空腔体达到频率信号下的真空度；

步骤4：读取当前真空腔体的真空度参数，再与目标真空度参数进行比较，通过循环逼近过程，使真空腔体达到目标真空度，完成闭环控制。

所述三相交流异步电动机采用水冷结构，与多级干式真空泵屏蔽密封结构连接且工作在真空环境。

所述真空度参数包括电流、功率、频率和时间。

所述三相交流变频器采用水冷结构。

所述人机界面是具有键盘输入、显示输出、报警参数设置和实时时钟显示功能的操作界面。

本发明具有以下优点及有益效果：

1．该发明专利以最快的速度和最精准的控制精度达到目标真空度，实现更好的控制效果；

2．该发明专利根据真空度设置值，自动调整抽速，自动调压，达到客户想要的真空；

3．该发明专利具有智能控制系统，可以实时显示泵组状态信息，并具有报警参数设置功能，能保存历史报警信息，可以进行自动保护。

附图说明

图1为本发明的总体结构图；

图2为本发明的方法流程图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明做进一步的详细说明。

如图1所示为本发明的总体结构图，包括多级干式真空泵，罗茨真空泵，可变频的三相交流异步电动机，三相交流变频器，复合真空计，人机界面，CPU控制单元。其中CPU控制单元是泵组的大脑，指挥变频器输出信号给电机从而使泵组运行，并且采集真空腔体的真空度，进行真空度的自动调节，多级干式真空泵为罗茨真空泵的前级泵，为直排大气提供可能，可变频的三相交流异步电动机为泵组的运行提供电源动力，三相交流变频器驱动和控制电动机的转速，复合真空计采集真空腔体的真空信号，反馈给CPU控制单元，CPU控制单元根据设置真空和采集到的真空进行自动调整，人机界面是用户和机组对话的介质，泵组的各种运行状态通过人机界面显示，用户的设置信息通过人机界面输入，反馈给CPU控制单元。

CPU控制单元包括PID调节模块，AD转换模块，温度采集模块，流量采集模块，排气压力采集模块，功率采集模块，报警信息采集模块，继电器输出模块，通讯模块，用户预留接口等，其中通讯模块包括485通讯模块，Profibus通讯模块。

多级干式真空泵是一种可直排大气的干式真空泵，可以在大气压力下工作，能从大气抽到10Pa，并且腔体内洁净无油，不会对所抽真空室造成污染。

罗茨真空泵，抽速可以调整，极限压力可以达到0.1Pa。

所述可变频的三相交流异步电动机，频率可以在0Hz到200Hz范围内自由调节。功率范围为1.5kw到15kw，电机与真空机组的连接为屏蔽密封结构，电机在真空环境旋转，保证真空机组不漏气，并且采用水冷结构。

所述三相交流变频器，使用水冷结构，驱动三相交流异步电动机，可以调整电机的旋转速度，进而调整泵组的抽速，达到自动调压的目的，节省空间并且达到很好的冷却效果。