[实用新型]金属掩模板面形测量系统有效
| 申请号： | 201220010146.0 | 申请日： | 2012-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN202432996U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 模板 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种金属掩模板面形测量系统，其特征在于，包括：控制系统，通过软件自动完成对所述金属掩模板的测量；测量元件，对所述金属掩模板板面进行测量，并将测量数据及时反馈回给数据处理系统；数据处理系统，根据测试的数据进行模拟，从而得到金属掩膜板的面形。
2.根据权利要求1所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，所述测量元件为非接触式光学元件。
3.根据权利要求2所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，所述测量元件为激光高度传感器。
4.根据权利要求1所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，所述控制系统控制所述测量元件，对所述金属掩模板板面进行扫描式测量。
5.根据权利要求1所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，所述控制系统控制所述测量元件，对所述金属掩模板板面的指定区域进行测量。
6.根据权利要求1所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，所述数据处理系统在测试进行的过程中，根据测试的数据进行模拟，从而得到金属掩膜板的面形。
7.根据权利要求1所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，所述数据处理系统在测试完毕后，根据测试的数据进行模拟，从而得到金属掩膜板的面形。
8.根据权利要求1所述的金属掩模板面形测量系统，其特征在于，测量系统还包括显示器，用于显示通过数据处理系统处理得到的面形图。
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