[实用新型]三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，包括硅粉加料器（13）、三氯氢硅合成炉（16）、旋风分离器（20）、硅粉收集器（19）；其特征在于氢气储罐（8）经第一氢气管线（9）和第一阀门（12）连接至硅粉加料器（13）的下部入口（1303），硅粉加料器（13）的下端出口（1304）经第二阀门（14）、第一压料管线（15）连接至三氯氢硅合成炉（16）的入口（1602），三氯氢硅合成炉（16）的上端出口（1601）经氯硅烷管线（21）连接至旋风分离器（20）的入口（2001），旋风分离器（20）的下端经硅粉收集器（19）的入口（1901）连接至硅粉收集器（19），硅粉收集器（19）的出口（1903）经第三阀门（18）、第二压料管线（17）连接至三氯氢硅合成炉（16）的入口（1603）；第一氢气管线（9）还连接第二氢气管线（2），经第四阀门（23）、第三压料管线（22）连接至硅粉收集器（19）的入口（1902）。

2.如权利要求1所述的三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，其特征在于在所述的硅粉加料器（13）上的出口（1301）依次连接第四压料管线（5）、第五阀门（4）、氢气收集罐（7）。

3.如权利要求1或2所述的三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，其特征在于所述的第一氢气管线（9）还依次连接氮气吹扫管线（11）、第六阀门（26）、氮气储罐（10）。

4.如权利要求2所述的三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，其特征在于在所述的第五阀门（4）与硅粉加料器（13）的出口（1301）之间的管线上装有一压力表（24）。

5.如权利要求1或2所述的三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，其特征在于在所述的三氯氢硅合成炉（16）的上下端之间安装有一差压变送器（25）。

6.如权利要求1或2所述的三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，其特征在于在所述的第三压料管线（22）和硅粉收集器（19）的入口（1902）之间的管线上安装有一压力表（27）。