[实用新型]一种利用椭球面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置

权利要求书

1.一种利用椭球面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置，其特征在于包括激光器(1)、光束分束器(2)、扩束准直镜(9)，椭球面反射镜(6)、第二光功率探测器(7)和第一光功率探测器(8)；在激光器(1)的激光光路上设置光束分束器(2)，光束分束器(2)将激光器(1)发出的光束分为光强比为1∶1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中设置第二光功率探测器(7)测得第二光束的光强；在第一光束的光路中设置扩束准直镜(9)，将其准直为直径小于1mm的平行光束，被测透射式光栅设置在准直光束的光路上，椭球面反射镜(6)设置在被测透射式光栅衍射光束的光路上；其中准直平行光束在被测透射式光栅上的入射点为椭球面反射镜的一个焦点，在椭球面反射镜的另一个焦点处设置第一光功率探测器(8)，测得椭球面反射镜上第二光束的反射光强度；用第一光功率探测器(8)测量得到的光强数值除以第二光功率探测器(7)测量得到的光强的两倍，得到被测透射式光栅的衍射效率。

2.根据权利要求1所述利用椭球面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置，其特征在于：将被测透射式光栅置于旋转台(3)上，第一光功率探测器置于椭球面反射镜的另一焦点上，调整扩束准直镜后的平行光束照射到被测透射式光栅上，转动旋转台(3)使得被测透射式光栅上平行光束的入射角在0°到-80°或者0°到80°之间改变，改变量步进值小于2°，使用第一光功率探测器(8)在入射角从0°到-80°或者0°到80°之间改变时测得抛物面反射镜上第二光束的反射光强度；在每次变化中用第一光功率探测器(8)测量得到的光强数值除以第二光功率探测器(7)测量得到的光强的两倍，得到变化的被测透射式光栅的系列衍射效率。