[实用新型]翻片机

权利要求书

1.一种翻片机，其特征在于，包括：

支撑组件；

用于输送硅片的多条输送带，多条所述输送带相间隔的设置在所述支撑组件上，多条所述输送带平行且其上表面位于同一平面上；

设置在所述输送带的一端用于承载由所述输送带输送来的所述硅片并将所述硅片翻转至下道工序设备上的多个翻转组件，所述翻转组件固定在所述支撑组件上。

2.根据权利要求1所述的翻片机，其特征在于，每个所述翻转组件包括机架、设置在所述机架上的转动轴、固定连接在所述转动轴上的翻转吸臂以及驱动所述转动轴旋转的第一伺服电机，所述翻转吸臂的上表面上设置有用于吸附由所述输送带输送至所述翻转吸臂上表面的所述硅片的吸盘。

3.根据权利要求2所述的翻片机，其特征在于，每个所述翻转组件包括两个所述翻转吸臂，每个所述翻转吸臂上设置有两个所述吸盘，所述吸盘的上表面不高于所述输送带的上表面且四个所述吸盘的上表面位于同一平面上。

4.根据权利要求2或3所述的翻片机，其特征在于，所述翻转组件上设置用于感应所述硅片已到位并将感应的信号传给控制器以控制所述第一伺服电机启动的感应器。

5.根据权利要求1所述的翻片机，其特征在于，所述支撑组件上架设有垂直于所述输送带的传动轴，所述传动轴由第二伺服电机驱动，所述传动轴上装配有多个随传动轴一起转动的主动轮，每个所述主动轮对应一个从动轮，每个所述主动轮和与其对应的所述从动轮上设置一条所述输送带。

6.根据权利要求2所述的翻片机，其特征在于，从一侧开始，相邻两条所述输送带为一组用于输送一片硅片，所述翻转吸臂伸入到一组的两条输送带一端的之间，每组所述输送带的两侧均设置有用于限位和导向所述硅片的导向板组。