[实用新型]一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台

权利要求书

1.一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，其特征在于：包括调倾平台(2)、调倾平台座(4)、调心平台(5)、X向微位移发生器(6)、Y向微位移发生器(3)、Z向微位移发生器(9)、X向导向装置(16)、Y向导向装置(17)、若干个回复弹簧(18)；其连接关系为：将调倾平台座(4)放置在调心平台(5)上，未接通低压空气时二者紧密贴合；调倾平台座(4)上放置调倾平台(2)，调倾平台(2)的下表面与调倾平台座(4)的上表面为截面形状互补的表面，未接通低压空气时二者紧密贴合；X向微位移发生器(6)、Y向微位移发生器(3)和三个Z向微位移发生器(9)，分别放置在工作台周围，用于工作台倾斜和偏心的调整，其中X向微位移发生器(6)沿X向作用于调心平台(5)；Y向微位移发生器(3)沿Y向作用于调倾平台座(4)；当调倾平台(2)绕X轴、Y轴做滚转或俯仰时，保证在坐标系的X轴或Y轴上安装一个Z向微位移发生器(9)，再在X轴或Y轴两侧对称安装两个Z向微位移发生器(9)，三个Z向微位移发生器(9)共同作用于调倾平台(2)；X向导向装置(16)安放于调心平台(5)沿X向的两侧，用于限定调心平台(5)沿X方向的运动；Y向导向装置(17)安放于调倾平台座(4)沿Y向的两侧，用于限定调心平台(5)沿Y方向的运动；置于X向微位移发生器(6)的对径位置的回复弹簧，是用于提供X方向偏心调整的回复力；置于Y向微位移发生器(3)的对径位置的回复弹簧，是用于提供Y方向偏心调整的回复力；置于三个Z向微位移发生器(9)附近的回复弹簧，是用于提供调倾回复力，限定调整范围，防止倾覆侧翻，保证调倾平台(2)与调倾平台座(4)之间相对位置的稳定。

2.如权利要求1所述的一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，其特征在于：所述调倾平台座(4)包括调倾气膜供气孔(13)和内部气路；在调倾平台座(4)的上表面周围设置若干调倾气膜供气孔(13)，调倾气膜供气孔(13)通过内部气路与调倾平台座供气管(11)相连通。

3.如权利要求1所述的一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，其特征在于：所述调心平台(5)包括Y向调心气膜供气孔(14)、X向调心气膜供气孔(15)、内部气路，Y向调心气膜供气孔(14)与X向调心气膜供气孔(15)分别安置在内部气路两侧，并通过内部气路与调心平台供气管(12)相连通。 

4.如权利要求1所述的一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，其特征在于：所述调心平台(5)边缘突起，高度不高于调倾平台座(4)。

5.如权利要求1所述的一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，其特征在于：所述调倾平台座(4)上表面的形状优选为凹球面或凹柱面。