[实用新型]一种显影机的喷淋显影系统有效
申请号: | 201220015127.7 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN202433672U | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;潘世弥 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显影 喷淋 系统 | ||
1.一种显影机的喷淋显影系统,为单面显影方式,包括有喷管,其特征在于:所述喷管为形状较为规则的蛇形状,其排布方向与显影对象的运动方向一致,喷管的喷嘴方向朝上,显影液喷淋方向由下向上。
2.如权利要求1所述的显影机的喷淋显影系统,其特征在于:所述喷管为复数组,该复数组蛇形状喷管等间距平行排布;其中,所有喷管固定在喷盘上,喷嘴均匀的设置在蛇形管的拐弯处。
3.如权利要求2所述的显影机的喷淋显影系统,其特征在于:所述相邻的两根所述蛇形喷管上的喷嘴喷出的喷液覆盖范围可以相互补充。
4.如权利要求3所述的显影机的喷淋显影系统,其特征在于:所述喷嘴喷液口可设置为各种合理的形式,从而实现喷出的溶液呈相应的形状。
5.如权利要求4所述的显影机的喷淋显影系统,其特征在于:所述喷嘴的喷口设置为扁口状,在一定的压力条件下,喷出的溶液主体呈扇形且扇面,通过转动喷嘴在喷管上的安装位置,可以使得喷出的扇面溶液所在平面垂直于显影对象的运动方向。
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