[实用新型]籽晶泡生炉有效
| 申请号： | 201220015223.1 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN202465949U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 高超;华伟;陈伟;李艳 | 申请（专利权）人： | 上海赢奔晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200127 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 籽晶 泡生炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种籽晶泡生炉，包括炉体，坩埚，其特征在于：还包括位于炉体（1）上方的真空腔（2），真空腔（2）与炉体（1）的内腔（3）相连通，并在连接处设有第一阀门（4），真空腔的进口设有第二阀门（5）；所述炉体（1）的内腔（3）内设有支撑坩埚（6）的支架（7），且在炉体内腔（3）的侧壁上设有发热体（8）；所述籽晶泡生炉还包括一根用于插入炉体（1）内腔的籽晶杆（9）。
2.根据权利要求1所述的籽晶泡生炉，其特征在于：所述的炉体内腔（3）内还设有的保护罩（10），保护罩（10）位于第二阀门（5）的下方，并在保护罩（10）底部设有阀口（11）。
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