[实用新型]泡生炉取放晶体及原料机构有效
申请号: | 201220015248.1 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN202465946U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 高超;华伟;陈伟;李艳 | 申请(专利权)人: | 上海赢奔晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200127 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 泡生炉取放 晶体 原料 机构 | ||
1.一种泡生炉取放晶体及原料机构,包括炉体,坩埚,其特征在于:还包括置于炉体(1)内的保温筒(2),保温筒(2)内壁上布有加热装置(3),以及位于炉体(1)内腔顶部的传动轴(4),传动轴(4)的轴端设有籽晶杆(5);所述炉体(1)底部设有真空腔体(6),真空腔体(6)与保温筒(2)的内腔相连通,并在连接处设有阀门(7),真空腔体(6)的进口设有另一阀门(8);所述的泡生炉取放晶体及原料机构还包括一个位于炉体底部的三相电动机(9),三相电动机(9)的输出端设有用于插入炉体内腔的另一传动轴(10),另一传动轴(10)的轴端设有托盘(11)支撑坩埚(12)。
2.根据权利要求1所述的泡生炉取放晶体及原料机构,其特征在于:所述炉体(1)的底部还设有用于支撑炉体的底盘(13)。
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