[实用新型]蒸镀用狭长沟槽掩模板

权利要求书

1.一种蒸镀用狭长沟槽掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物面接触的ITO接触面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO接触面和蒸镀面的狭长沟槽开口，在ITO接触面上的狭长沟槽开口和在蒸镀面上的狭长沟槽开口中心重合，所述狭长沟槽开口相互间隔且相互平行； ITO接触面上的狭长沟槽开口面积小于在蒸镀面上的狭长沟槽开口面积。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于所述ITO接触面和蒸镀面上的槽状开口横向通过若干个实桥，将开口连接起来；所述掩模板为矩形，厚度为5～200μm。

3.根据权利要求2所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于所述通过横向实桥将狭长沟槽开口在ITO接触面等距间隔开来。

4.根据权利要求1所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于槽状开口在掩模板的厚度方向上垂直剖面图为上下两部分连接构成，所述连接部位横向尺寸不大于所述上下部分的开口尺寸，ITO接触面和蒸镀面的槽状开口具有倒锥角，ITO接触面开口的倒锥角角度小于蒸镀面的槽状开口的锥角的角度；蒸镀面狭长沟槽开口的锥角在30～50°。

5.根据权利要求4所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于所述的ITO接触面的横向尺寸精度控制在±5μm；ITO接触面的倒锥角开口的垂直深度在5～25μm。

6.根据权利要求5所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于ITO接触面的倒锥角开口的垂直厚度小于等于蒸镀面锥角开口的垂直厚度。

7.根据权利要求1所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于掩模板材料为不锈钢、纯镍、镍钴合金、镍铁合金、因瓦合金中的任意一种金属板；掩模板厚度为10～50μm。

8.根据权利要求1所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于蒸镀面大尺寸狭长沟槽开口（2）侧壁为光滑锥壁。

9.根据权利要求1所述的蒸镀用狭长沟槽掩模板，其特征在于ITO接触面小尺寸狭长沟槽开口侧壁为光滑倒锥壁，锥度为0-8°。