[实用新型]蒸镀用沟槽掩模板

权利要求书

1.一种蒸镀用沟槽掩模板，形状为四边形金属板，其特征在于，包括ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的开口，在ITO面上的开口为网格状，在蒸镀面上的开口为沟槽状，所述槽状开口之间相互间隔且相互平行； ITO面上的开口面积小于在蒸镀面上的开口面积。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于所述蒸镀面上的槽状开口横向通过若干个实桥，将开口连接起来；所述掩模板为矩形，厚度为5～200μm。

3.根据权利要求2所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于所述ITO面通过横向和纵向实桥将开口在ITO面等距间隔开来；贯通的网格状开口和沟槽状开口的中心重合。

4.根据权利要求1所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于沟槽ITO面和蒸镀面的槽状开口具有倒锥角，ITO面开口的倒锥角角度小于蒸镀面的槽状开口的倒锥角的角度；蒸镀面沟槽开口的锥角在30～50°。

5.根据权利要求4所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于所述的ITO面的横向尺寸精度控制在±5μm；ITO面的倒锥角开口的垂直深度在5～25μm。

6.根据权利要求4所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于ITO面的倒锥角开口的垂直厚度小于等于蒸镀面锥角开口的垂直厚度。

7.根据权利要求1所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于掩模板材料为不锈钢、纯镍、镍钴合金、镍铁合金、因瓦合金中的任意一种金属板；掩模板厚度为10～50μm。

8.根据权利要求1所述的蒸镀用沟槽掩模板，其特征在于蒸镀面大尺寸沟槽状开口侧壁为光滑锥壁。

9.根据权利要求1所述的蒸镀用沟槽掩模版，其特征在于ITO面小尺寸网格状开口侧壁为光滑倒锥壁，锥度为0-8°。