[实用新型]蒸镀掩模板有效
| 申请号： | 201220015933.4 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN202530150U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩 模板 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀掩模板，其特征在于，在所述蒸镀掩膜板上设有开口图形区域及图标图案区域，所述图标图案为通孔；所述的图标图案和开口图形一体成型。
2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述蒸镀掩模板的材料为因瓦合金、镍铁合金、镍钴合金或纯镍。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述蒸镀掩模板的厚度为20-100μm。
4.根据权利要求3所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述蒸镀掩模板的厚度为20μm。
5.根据权利要求3所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述蒸镀掩模板的厚度为100μm。
6.根据权利要求3所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述蒸镀掩模板的厚度为60μm。
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