[实用新型]阴极挡板及其掩模板电铸装置

权利要求书

1.一种阴极挡板，其特征在于，包括网框和丝网，所述丝网固定在网框上，在所述丝网上涂布感光胶，感光胶的涂布范围控制在略大于所要电铸形成开口的图形区域范围。

2.根据权利要求1所述的阴极挡板，其特征在于，在所述感光胶上曝光的图形为所需电铸掩模板的原始图形2～4倍，所述网框材料为铸铁或耐酸碱的塑料，所述网框的厚度为2～7mm。

3.一种掩模板电铸装置，其特征在于，包括权利要求1-2任一项阴极挡板、阳极、阴极、夹具和电解槽，所述夹具将所述阴极挡板和阴极夹住置于所述电解槽中，所述阳极置于所述电解槽内壁上，所述阴极挡板置于所述阳极和所述阴极之间。

4.根据权利要求3所述的掩模板电铸装置，其特征在于，所述掩模板电铸装置包括两块阴极挡板、两块阳极和两块阴极，所述阴极挡板置于所述阳极和阴极夹之间，所述阴极为电铸芯膜背靠背放置，即位置顺序为阳极、阴极挡板、阴极、阴极、阴极挡板、阳极。