[实用新型]传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201220019429.1 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN202492568U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 周新元;常昱 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强;杨东明 |
| 地址： | 201614 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传动 缝隙 模块 应用 连续 溅射 镀膜 设备 | ||
1.一种传动缝隙模块，其特征在于，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于将两个溅射镀膜井位隔离的封板。
2.如权利要求1所述的传动缝隙模块，其特征在于，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮。
3.如权利要求2所述的传动缝隙模块，其特征在于，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。
4.如权利要求3所述的传动缝隙模块，其特征在于，所述中间隔板与轴承座之间，所述垫板与中间隔板之间和盖板与垫板之间的连接方式为螺接。
5.如权利要求3或4所述的传动缝隙模块，其特征在于，所述中间隔板为铝型材。
6.一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，其特征在于，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离。
7.如权利要求6所述的连续溅射镀膜设备，其特征在于，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮。
8.如权利要求6或7所述的连续溅射镀膜设备，其特征在于，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司，未经上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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