[实用新型]一种扫描式测头测量装置

权利要求书

1.一种扫描式测头测量装置，其包括有机械测头部分和光栅信号处理部分；其特征在于：在所述的机械侧头部分中包括有两层平行簧片结构组；所述的两层平行簧片结构相互垂直；与测头外壳（2）相连有测头Y轴固定端（25），Y轴固定端（25）固接有Y轴光栅读数头（23）；转接板（22）呈L形，其一支端连接有X轴光栅读数头（18），另一支端上固定有Y轴光栅尺(27）,X轴光栅读数头（18）与Y轴光栅尺(27）的位置相互垂直；所述的Y轴光栅读数头（23）正对Y轴光栅尺（27）；两块侧板（24）分别通过弹性簧片（16）与Y轴固定端（25）和转接板（22）相连，两块侧板（24）分别位于所述Y轴光栅尺（27）的两侧且相互平行；

X轴移动端（19）上固接有X轴光栅尺（17），X轴光栅尺（17）正对着X轴光栅读数头（18）；两块侧板（24）通过弹性簧片（16）与X轴移动端（19）和转接板（22）的一个支端相连，两块侧板（24）分别位于X轴光栅尺（17）的两侧并相互平行；测针（3）固定于X轴移动端（19）上；所述的X轴光栅读数头（18）与Y轴光栅读数头（23）相互垂直；

由X轴光栅读数头（18）和Y轴光栅读数头（23）分别引出光栅线缆（7），光栅线缆（7）接入光栅信号处理部分的光栅信号接口（15）。

2.根据权利要求1所述的一种扫描式测头测量装置，其特征在于：所述的Y轴固定端（25）与Y轴光栅读数头（23）通过连接杆（26）和读数头连接件（21）连接；所述的转接板（22）一支端与X轴光栅读数头（18）通过连接杆（26）和读数头连接件（21）连接。

3.根据权利要求1所述的一种扫描式测头测量装置，其特征在于：在侧板（24）上连接有限位挡板（28），限位挡板(28）上设计有便于锁紧螺钉（1）伸入实现锁紧功能的螺孔；移动端（19）上设计有与限位挡板(28）上的螺孔相配合的螺孔；需要锁紧时，锁紧螺钉（1）从移动端（19）上的预留孔伸入与限位挡板（28）上的螺孔配合，实现锁紧功能；读数头连接件（21）与限位挡板（28）之间设计有起到限位和缓冲的作用的限位缓冲部件（20）。

4.根据权利要求1所述的一种扫描式测头测量装置，其特征在于：光栅信号处理部分包括光栅信号接口、电源模块、放大整形电路、FPGA模块、DSP模块、ISA接口模块、串口模块；用于接收三路光栅信号的光栅信号接口连接至光栅位移传感器的输出端，再与将输入信号做放大整形处理的放大整形电路连接，放大整形电路的输出端与做四倍频变相细分的处理的FPGA模块相连，FPGA模块再 与可以做数据转换和处理的DSP模块的数据总线连接，DSP模块与串口模块相连，同时FPGA模块还与ISA接口相连；电源转换模块（11）输入端与ISA接口连接，输入所需电压，同时输出端与DSP模块（10）以及FPGA模块（12）连接，给芯片提供所需电压；程序下载接口（13）与DSP模块（10）以及FPGA模块（12）连接,给芯片下载相应的程序。