[实用新型]一种姿态感应传感器芯片的测试台有效
| 申请号： | 201220026241.X | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN202471910U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱玉萍;徐鹏辉 | 申请（专利权）人： | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉善县大*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 姿态 感应 传感器 芯片 测试 | ||
【权利要求书】：
1.一种姿态感应传感器芯片的测试台，包括有主台面，其特征是在主台面上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶台，在载晶台上放置有真空吸盘，在载晶台对面安装有光源和CCD相机，载晶台相对于光源和CCD相机有可左右移动的X直线轴和上下移动的Y直线轴以及可前后运动的Z直线轴，在Z直线轴上安装测试用的可以周向转动的探针卡。
2.根据权利要求1所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征是所述的Z直线轴被安装在X直线轴和Y直线轴上。
3.根据权利要求1所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征在于所述载晶台和针卡均与地面垂直设置，且都能做独立转动。
4.根据权利要求1所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征是在所述主台面下面连接有2个异面交叉的可以独立转动的A轴和B轴。
5.根据权利要求4所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征在于所述A轴和B轴的异面交叉为异面垂直交叉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴景焱智能装备技术有限公司，未经嘉兴景焱智能装备技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220026241.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
