[实用新型]研磨垫拆卸工具有效
申请号: | 201220033983.5 | 申请日: | 2012-02-02 |
公开(公告)号: | CN202438921U | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 弓艳霞 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 拆卸 工具 | ||
1.一种研磨垫拆卸工具,其特征在于,包括空心的圆筒、沿所述圆筒轴向设置的研磨垫自锁机构、沿所述圆筒的轴向移动的复位顶销以及固定连接于所述圆筒的端盖的把手,所述圆筒的侧壁沿圆筒的轴向开设有供研磨垫穿入的槽,所述研磨垫自锁机构设置于所述圆筒内部,所述复位顶销的一端伸出所述圆筒的端盖,所述复位顶销的另一端位于所述研磨垫自锁机构的侧部。
2.根据权利要求1所述的研磨垫拆卸工具,其特征在于,所述研磨垫自锁机构包括一对相对设置的自锁组件,每个自锁组件包括楔块基座、锁止楔块以及压力弹簧,其中,所述楔块基座沿所述圆筒的轴向固定设置于所述圆筒的内壁,所述锁止楔块位于所述楔块基座的内侧,所述锁止楔块具有夹持部和连接部,所述夹持部通过所述压力弹簧与楔块基座的顶部连接,所述连接部活动连接于所述楔块基座的底部。
3.根据权利要求2所述的研磨垫拆卸工具,其特征在于,所述复位顶销的另一端具有一外径由内向外逐渐缩小的锥状体,所述锥状体对准两块所述锁止楔块的夹持部之间的间隙设置。
4.根据权利要求2所述的研磨垫拆卸工具,其特征在于,所述锁止楔块的连接部通过一转销活动连接于所述楔块基座。
5.根据权利要求2所述的研磨垫拆卸工具,其特征在于,所述楔块基座上连接压力弹簧的部位开设供压力弹簧伸入的第一沉孔,所述锁止楔块上连接压力弹簧的部位开设供压力弹簧伸入的第二沉孔,所述压力弹簧的两端分别与第一沉孔的底壁和第二沉孔的底壁固定连接。
6.根据权利要求1所述的研磨垫拆卸工具,其特征在于,所述把手是曲柄,所述曲柄上设有相平行的第一扶把和第二扶把。
7.根据权利要求1~6中任意一项所述的研磨垫拆卸工具,其特征在于,所述研磨垫自锁机构的两端分别设有挡板,其中,靠近所述复位顶销的一块挡板上开始供所述复位顶销穿越的导向槽。
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