[实用新型]一种超纯氩净化系统有效
| 申请号： | 201220037971.X | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN202440312U | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 陈军;周旻 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超纯氩 净化系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种超纯氩净化系统，包括电路系统及气路管道系统，其特征在于，包括以下构件：
1）、控制系统；
2）、氩气杂质成分分析设备，所述分析设备与所述控制系统连接；
3）、净化装置，所述净化装置设有多级净化单元，所述净化单元分别与所述控制系统连接，所述净化装置与气源连接的主气路管道在气源接口处设有一密封抽样装置，所述密封抽样装置设有抽样口，所述气源通过主气路管道与一多向电磁阀连接，所述净化单元分别通过支路管道与所述多向电磁阀连接；
4）、抽真空装置，所述抽真空装置与所述主气路管道连接，所述抽真空装置通过电路与所述控制系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种超纯氩净化系统，其特征在于：
所述抽真空装置与一废气收集罐连接。
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