[实用新型]一种带有超纯氨净化器的连接管

说明书

技术领域

本实用新型属于工业气体加工生产领域，具体是一种带有超纯氨净化器的连接管。

背景技术

超纯氨在电子产品加工领域具有很重要的应用，如半导体芯片、LCD/LED液晶显示屏和平板显示设备等的制造过程中，需要使用大量的超纯氨,在这些过程中，要求氨的纯度要足够高,在沉积膜中即使是痕量的杂质，也会导致膜品质和性能的下降，如氧杂质会造成晶格欲陷，最终导致器件报废。然而，在氨气原料的生产过程中，即使制氨工厂能够把氨提纯到足够的纯度，由于在充装、储存、运输和使用等环节，超纯氨都存在被污染的可能，因此就有必要采取措施使确保进入使用氨气使用系统的超纯氨纯度免遭污染。

发明内容

本实用新型的技术目的是提供一种简单、方便的装置解决现有技术中存在的问题。 

本实用新型的技术方案是：

一种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，其设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进口管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的进口管路连接的进口管口和出口管口，所述进口管口和出口管口之间设有氨气净化系统。

进一步的技术方案包括：

在所述进口管口上设有控制管路启闭的电磁阀。

所述净化系统包括脱氧单元和除水单元。

本装置在使用时，一端连接氨气原料管路，另一端连接氨气使用设备，使氨气原料通过所述净化器再进入氨气使用设备，用于去除氨气原料在充装、储存、运输和之前的使用环节中可能产生的杂质污染，有效保障了后续工艺的安全进行和产品质量，提高了产品的良品率，避免了不必要的损失，并且本实用新型结构简单、使用方便。 

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了阐明本实用新型的技术方案及技术目的，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型做进一步的介绍。

如图1所示， 一种带有超纯氨净化器的连接管，两端分别为进口管口1和出口管口2，使用时，将一端的进口管口1连接在氨气原料管路输出管路上，将另一端的出口管口2连接在氨气使用设备的氨气输入进口管路上，所述进口管口1和出口管口2上均设有密封装置。所述进口管口1和出口管口2之间设有氨气净化系统3，所述净化系统3包括脱氧单元和除水单元，用于净化进入氨气使用设备的氨气原料中的O₂、H₂O杂质。

所述进口管口1上还设有控制管路启闭的电磁阀4，当原料氨气污染超标，超出所述净化系统3的净化能力范围使，即控制电磁阀4关闭进口管路1，停止原料供给。

以上已以较佳实施例公开了本实用新型，然其并非用以限制本实用新型，凡采用等同替换或者等效变换方式所获得的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。