[实用新型]保护气体自动控制装置

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体器件测试领域，特别是涉及一种保护气体自动控制装置。

【背景技术】

在集成电路圆片测试(Wafer Chip Prober，简称CP)过程中，某些特殊的产品对测试环境有要求，需要用氮气保护。传统的做法是将氮气通过调节阀调节后，通过蛇形管引至测试针卡(Prober Card)上方接近探针的位置，再通过喷嘴喷出，使被测产品处于氮气氛围之下。图1是一种传统的氮气控制装置的结构示意图。

但是这种传统的方案，氮气一直处于开通的状态，在测试换片过程中及测试暂停时，就会造成氮气浪费。

【实用新型内容】

基于此，有必要提供一种能够减少保护气体的浪费的保护气体自动控制装置。

一种保护气体自动控制装置，包括通过气管顺序连接形成气路的电磁阀、调节阀以及喷嘴，还包括电连接所述电磁阀的控制模块；所述控制模块用于电连接探针台以检测探针台的工作状态，根据所述工作状态控制电磁阀的打开与关闭。

优选的，还包括设于所述气路上的流量计。

优选的，所述流量计设于所述调节阀与喷嘴之间。

优选的，所述流量计与喷嘴之间的一段气管为蛇形管。

优选的，所述控制模块电连接所述流量计和调节阀，所述控制模块获取流量计采集到的实时流量信息，并根据所述实时流量信息对调节阀进行控制，调节气体流量。

优选的，所述控制模块包括嵌入式控制器、状态传感器以及流量传感器；所述状态传感器连接所述嵌入式控制器，用于将所述工作状态转化为嵌入式控制器能够识别的信号；所述流量传感器连接所述嵌入式控制器，用于将所述实时流量信息转化为嵌入式控制器能够识别的信号。

优选的，所述控制模块包括显示装置。

上述气体自动控制装置，控制模块根据探针台的工作状态，自动控制电磁阀的打开与关闭。即只在探针台处于测试状态时开通保护气体，避免了保护气体的浪费，能够降低生产成本、节能环保。

【附图说明】

图1是一种传统的氮气控制装置的结构示意图；

图2是一实施例中保护气体自动控制装置的结构示意图；

图3是另一实施例中保护气体自动控制装置的结构示意图；

图4是一实施例中控制模块的结构示意图。

【具体实施方式】

为使本实用新型的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

图2是一实施例中保护气体自动控制装置的结构示意图，保护气体自动控制装置100包括通过气管顺序连接形成气路的电磁阀110、调节阀120、喷嘴130，以及电连接电磁阀110的控制模块140。控制模块140用于电连接探针台200以检测探针台200的工作状态，根据工作状态控制电磁阀120的打开与关闭。保护气体自动控制装置100工作时，保护气体(在优选的实施例中为氮气)通过供气口通入，经由气管先后流经电磁阀110、调节阀120、喷嘴130，最后由喷嘴130喷向被测产品，为被测产品提供保护气体氛围。控制模块140在探针台200处于待机或故障时，自动关闭电磁阀110，停止保护气体的供给。即只在探针台200处于测试状态时开通保护气体，避免了保护气体的浪费，能够降低生产成本、节能环保。

在优选的实施例中，还可以在气路上安装一个流量计150，如图3所示。流量计150可以设于调节阀120与喷嘴130之间，即通过气管连接调节阀120与喷嘴130。在优选的实施例中，流量计150与喷嘴130之间的一段气管采用蛇形管。在其它实施例中，流量计150也可以设于电磁阀110与调节阀120之间。通过设置流量计150，就可以实时掌握气路中保护气体的流量，以便对流量进行精确的控制，既保证被测产品能获得足够浓度的保护气体氛围，又不至于造成气体浪费。

在图3所示实施例中，控制模块140电连接流量计150和调节阀120，控制模块140获取流量计150采集到的实时流量信息，并根据实时流量信息对调节阀120进行控制，调节气路中保护气体的气体流量。在保护气体的实时流量大于预设的流量上限阈值时关小调节阀120，在保护气体的实时流量小于预设的流量下限阈值时开大调节阀120，实现对气路中保护气体流量的自动检测和控制。