[实用新型]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶有效
申请号: | 201220041653.0 | 申请日: | 2012-02-09 |
公开(公告)号: | CN202521217U | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 宋令枝;吴胜勇;严玲;崔东洋;张涌 | 申请(专利权)人: | 苏州盛康光伏科技有限公司 |
主分类号: | F17C1/00 | 分类号: | F17C1/00;F17C13/00 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳电池 用三氯氧磷 扩散 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种扩散源瓶,尤其涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,属于光电技术领域。
背景技术
晶体硅电池技术已成功应用与商业化生产,极大推动了人类享受清洁能源的进程。晶体硅电池的PN结为其工作的核心,当光照射在该PN结上时,会发生所谓光生伏打效应,产生光生电动势及光生电流供给与负载。发射电极的设计对于提高晶体硅电池的效率具有重要意义,诸如采用激光辅助、磷墨印刷等形成选择性发射性电极是一种有效设计。
成熟的管式扩散炉,提供的扩散方案是气体携带源气,源气在高温下发生化学反应,继而形成晶体硅电池的核心PN结。如在P型硅片上进行磷扩散,一般采用的是氮气携带三氯氧磷带入管式炉管,在高温下三氯氧磷与氧气发生化学反应形成磷原子,该磷原子在高温下先后经历了替代扩散、间隙扩散等在硅片表面形成了具有一定梯度分布的N型层,继而形成了PN结。液态的三氯氧磷一般放置于石英材质的源瓶中,其进气管为石英材质的中空管。这种材质的源瓶在灌装和搬运操作时容易发生裂痕及炸裂,中空的石英进气管也不能充分利用三氯氧磷。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种灌装及搬运操作时不容易发生裂痕及炸裂,且可以提高三氯氧磷利用率的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶。
本实用新型的目的是这样实现的:
一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体,所述源瓶本体顶部设有药液灌装口,所述源瓶本体顶部还插设有气体进气管和气体出气管,所述气体进气管的下端插至源瓶本体底部,所述气体出气管的下端插设至源瓶本体中部,其特征在于所述源瓶本体、气体进气管和气体出气管均采用ETPE或FEP材料制成,所述气体进气管的底端向上设有开孔段,所述开孔段上设有多个圆形小孔;
所述开孔段的长度为0.5~3厘米。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的源瓶本体、气体进气管和气体出气管均均采用ETPE或FEP材料制成,使得灌装及搬运操作时不容易发生裂痕及炸裂,气体进气管的底端向上设有开孔段可以提高三氯氧磷利用率。
附图说明
图1为本实用新型太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的结构示意图。
其中:
源瓶本体1
药液灌装口2
气体进气管3
气体出气管4
开孔段5。
具体实施方式
参见图1,本实用新型涉及的一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体1,所述源瓶本体1顶部设有药液灌装口2,所述源瓶本体1顶部还插设有气体进气管3和气体出气管4,所述气体进气管3和气体出气管4分别位于药液灌装口2的两边,所述气体进气管3的下端插至源瓶本体1底部,所述气体出气管4的下端插设至源瓶本体1中部,所述源瓶本体1、气体进气管3和气体出气管4均采用ETPE(聚氟乙烯)或FEP(聚全氟乙丙稀共聚物)材料制成,所述气体进气管3的底端向上设有开孔段5,所述开孔段5上设有多个圆形小孔,所述开孔段5的长度为0.5~3厘米。
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