[实用新型]半蚀刻网罩有效
申请号: | 201220043105.1 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN202455492U | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 陈雪尧;梁泰频;何公明;王满根;史小军 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
主分类号: | H04R1/02 | 分类号: | H04R1/02 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫 |
地址: | 315800 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 网罩 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种网罩,特别是涉及一种半蚀刻网罩。
背景技术
以前国内外的电脑音箱外的网罩所用材质都是塑料,优点是容易加工,大批量生产中可以做到很低成本,因此,如果是低端产品,大部分音箱网罩材质都是塑料材质。现在为了追求高控性和扬声器的震动性能,高端的电脑音箱外的网罩都选择了金属材料。由于现在对网罩要求的不断提高,除了网罩有不同尺寸孔径,双面一致的图形外,还要求有不同图案。对网罩的尺寸有严格要求,网罩表面不能有划伤,断丝,产品不可有堵孔,破孔、毛刺、变形等等,更加增加了加工的难度。
而且对于用金属材料加工网罩,以前大部分用冲制打孔方法,在213平方厘米的材料上冲制多达2万个小孔,遇到诸多困难。1、冲制的孔的孔径大都是同一直径,不能同时冲制不同孔径的小孔,而且孔径公差都控制在0.09mm以内,要求表面不能有深度划痕,允许有无感划痕,2、由于需要冲制2万多个小孔,冲针容易断裂。3、生产效率达不到要求,平均冲制一个小孔在2秒钟左右,加工一个产品需要很长时间,完全不能满足生产要求。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种利用光刻技术制作的半蚀刻网罩。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种半蚀刻网罩,包括圆形的金属材料板,其特征在于:所述金属材料板上具有与该金属材料板同心设置的圆形的全蚀刻部分,以及围绕该全蚀刻部分设置的环形半蚀刻部分,所述半蚀刻部分保留一定厚度的金属材料。
优选地,所述全蚀刻部分上具有圆孔图案,所述半蚀刻部分没有图案。
所述金属材料板的厚度为0.2mm,所述全蚀刻部分上的圆孔图案的直径为0.6mm,所述半蚀刻部分的蚀刻深度为0.05mm-0.07mm。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于该半蚀刻网罩,不但具有全蚀刻部分还具有半蚀刻部分,能够为音响提供更好的效果,而且加工方便、生产效率高,可以批量生产。
附图说明
图1为本实用新型半蚀刻网罩的示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图1所示,为本实用新型半蚀刻网罩的示意图,该网罩包括圆形金属材料板1,该圆形金属材料板1上具有与该圆形金属材料板1同心设置的圆形的全蚀刻部分3以及围绕该全蚀刻部分3的圆环状的半蚀刻部分2。该全蚀刻部分3上具有圆孔图案,直径为0.6mm±0.05mm,半蚀刻部分2保留一定厚度的金属材料,半蚀刻部分2没有图案。
该半蚀刻网罩的制作方法如下所述,首先利用微机电脑上用专业的设计开发软件设计,将全蚀刻部分3上的圆孔图案的孔的直径正面设计为0.52mm,反面设计为0.48mm,其余余量按厚度的60%正常放置。由于正面半蚀刻只有0.06mm,所以对于直径为0.6mm的孔来说它的正面蚀刻深度也只能有0.06mm。而厚度0.2mm的金属材料板要直径为0.6mm的孔蚀刻穿,所以反面孔的蚀刻深度为0.14mm,即反面的孔的直径设计为0.48mm,正面孔设计为0.52mm。
在0.2mm厚的金属材料板上涂敷一层光刻胶,在100℃下烘干,然后在双面曝光机上用同时将和孔的掩膜板曝光,在专用显影机上显影,并于260℃下烘干,烘干后的显影板上显影出和孔排列好的不同孔径网罩,同时在的图案上有0.14mm的半蚀刻线宽。
将已显影后的金属网罩在专用蚀刻机上进行化学反应,的图案方向朝下放置,使半蚀刻部分更能更能与化学药水充分反应。将蚀刻机前四仓上压力(单位为KG)调整为3.0KG-3.5KG,后四仓压力为3.0KG-3.5KG,前四仓下压力调整为0KG,后四仓调不足为0.5KG-0.8KG,传动速度(单位为m/s),前四仓为0.63m/s,后四仓0.65m/s,温度前四仓56.7摄氏度,后四仓为55.8摄氏度。
经过测试,半蚀刻部分蚀刻深度达到0.05mm-0.07mm范围内。
该半蚀刻网罩,不但具有全蚀刻部分还具有半蚀刻部分,能够为音响提供更好的效果,而且加工方便、生产效率高,可以批量生产。
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