[实用新型]一种用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置

权利要求书

1.一种用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置，由若干块坩埚护板和一块坩埚盖板构成；所述坩埚护板为平板状，位于所述硅铸锭炉内的石英坩埚的四周；所述坩埚盖板为平板状，位于所述硅铸锭炉内的石英坩埚的上方，并由所述坩埚护板支撑，所述坩埚盖板上还设有导气口，用于导入保护气体的气流；其特征在于，所述坩埚护板由护板主体和不挥发碳元素表层构成，所述坩埚盖板由盖板主体和不挥发碳元素底层构成，所述不挥发碳元素表层、不挥发碳元素底层与石英坩埚壁面及石英坩埚中硅料表面围成内部空腔。

2.如权利要求1所述的用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置，其特征在于，所述导气口位于所述坩埚盖板的中心。

3.如权利要求1或2所述的用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置，其特征在于，所述不挥发碳元素表层为碳化硅涂层、热解碳层、钼板或含钼的合金板，所述不挥发碳元素底层为碳化硅涂层、热解碳层、钼板或含钼的合金板。

4.如权利要求1或2所述的用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置，其特征在于，在所述坩埚护板上设有出气口，所述出气口的中心位于所述石英坩埚的顶端上方0-10cm处。

5.如权利要求4所述的用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置，其特征在于，所述出气口为开孔或开槽。