[实用新型]图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底的第一侧形成有金属互连层；

第一类型掺杂区，其位于所述衬底中；

第二类型掺杂区，其位于所述衬底中，并与所述第一类型掺杂区相邻以形成光电二极管；

电极层，其位于所述衬底的第二侧，其中所述电极层是可透光的；

绝缘层，其位于所述电极层与所述衬底之间；

其中，所述电极层与所述衬底之间具有预定电势差，以使得所述衬底的第二侧的表面形成第二类型导电层。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述第一类型掺杂区从所述衬底的第二侧露出，所述预定电势差使得所述第一类型掺杂区表面反型为所述第二类型导电层。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述第二类型掺杂区从所述衬底的第二侧露出并覆盖所述第一类型掺杂区，所述预定电势差使得所述第二类型掺杂区表面的多数载流子的浓度提高。

4.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述电极层包括一个或多个通孔，其位于所述光电二极管上。

5.根据权利要求4所述的图像传感器，其特征在于，所述一个或多个通孔的面积超过所述光电二极管面积的10％。

6.根据权利要求4所述的图像传感器，其特征在于，所述通孔的形状是六边形。

7.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述电极层的厚度不超过2000埃。

8.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，还包括：

电极互连层，其位于所述电极层上，用于将所述电极层电引出。

9.根据权利要求8所述的图像传感器，其特征在于，所述电极 互连层位于所述光电二极管的边缘。

10.根据权利要求8所述的图像传感器，其特征在于，所述电极互连层的厚度为400埃至5000埃。