[实用新型]夹持平面盘状物的装置有效
申请号: | 201220053052.1 | 申请日: | 2012-02-17 |
公开(公告)号: | CN202549815U | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 吴仪;张豹;王波雷;张晓红;王锐廷 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100016 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹持 平面 盘状物 装置 | ||
1.一种夹持平面盘状物的装置,其特征在于,所述装置包括:圆柱形的旋转主体、两组夹持元件、圆筒形的电磁铁保持架、以及若干电磁铁,每组夹持元件具有至少三个夹持元件,所述旋转主体的侧壁上设有与所述夹持元件个数相同的基座,所述两组夹持元件通过所述基座安装于所述旋转主体的侧壁上,所述两组夹持元件通过旋转轴与所述基座连接,所述电磁铁保持架绕所述旋转主体一周且内径与所述旋转主体的半径呈预设距离处,所述若干电磁铁沿所述电磁铁保持架径向设于所述电磁铁保持架的内部,在所述夹持元件上设有磁性单元,每组夹持元件中各个夹持元件的磁性单元沿径向的极性相同,所述两组夹持元件之间的磁性单元沿径向的极性相反,在所述基座上与所述夹持元件下部相对处设有张力单元,所述夹持元件能绕旋转轴旋转。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述张力单元为压缩弹簧、且沿径向设置。
3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述磁性单元为沿径向设置的永磁铁。
4.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述基座上设有调整单元,用于调整所述夹持元件绕旋转轴旋转的最大角度。
5.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述旋转主体上表面设有至少三个晶片支撑。
6.如权利要求1~5中任一项所述的装置,其特征在于,所述夹持元件用于夹持平面盘状物,所述平面盘状物为晶片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造