[实用新型]用于加工圆倒角的磨轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加工工具，尤其是一种进行晶棒倒角加工时将倒角加工为具有圆弧特征的圆角的磨轮。

背景技术

常规的倒角磨轮是使用金刚石树脂磨轮，对晶棒进行倒角加工，加工后晶棒C角面A和面B及面B和面C间夹角为尖角，如图3所示，同时由于尖夹角间的应力集中会造成后续加工中出现切损、缺角、隐裂等损失。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种将面A和面B及面B和面C间夹角由尖角转换为具有圆弧口的C角，如图4所示，以降低切损、缺角、隐裂等损失的磨轮。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于加工圆倒角的磨轮，所述的磨轮为两圈式，磨轮的外圈为金刚石树脂磨头，磨轮的内圈为柔性毛刷束，所述的柔性毛刷束高于金刚石树脂磨头设置在磨轮内圈。

具体的说，本实用新型所述的柔性毛刷束为含金刚砂微粒的柔性毛刷束，柔性毛刷束的直接为10mm，所述的柔性毛刷束为6～12束均匀布置；柔性毛刷束的无胶长度为10～15mm。所述的柔性毛刷束高于金刚石树脂磨头1～3mm。

本实用新型将原先单由金刚砂与硅块接触的硬磨擦改为外层使用金刚砂粗磨后使用内层的柔性毛刷对硅块C角进行抛光，同时利用毛刷的柔性特征将夹角由尖角转变为圆弧形，通过改变金刚砂与毛刷的高度差可调整C角弧度的大小。

本实用新型的有益效果是，解决了背景技术中存在的缺陷，能够降低由于C角夹角应力集中造成的加工损失。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的优选实施例的结构示意图；

图2是图1的横向截面图；

图3是现有技术晶棒C角形状的示意图；

图4是使用本实用新型后晶棒C角形状的示意图；

图中：1、柔性毛刷束；2、磨头。

具体实施方式

现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的一种用于加工圆倒角的磨轮，磨轮为两圈式，磨轮的外圈为金刚石树脂磨头2，磨轮的内圈为柔性毛刷束1。柔性毛刷束1为含金刚砂微粒的柔性毛刷束，柔性毛刷束的直径为10mm，所述的柔性毛刷束为8束均匀布置；柔性毛刷束的无胶长度为10mm。柔性毛刷束高于金刚石树脂磨头3mm。

在进行硅块C角加工时圆倒角磨轮旋转并由丝杠带动作直线移动，与硅块接触时先由外层金刚石树脂磨头与硅块接触进行粗磨，后随着磨轮的移动内层柔性毛刷对已粗磨的C角部分作抛光处理并将夹角由尖角磨削为圆弧角α，由于柔性毛刷与金刚砂磨头间存在高度差因此圆倒角磨轮移动时完成圆倒角的部分不会再被后面的金刚砂磨头再次磨削到，从而实现整个圆倒角的加工。

以上说明书中描述的只是本实用新型的具体实施方式，各种举例说明不对本实用新型的实质内容构成限制，所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形，而不背离实用新型的实质和范围。