[实用新型]基于分级结构化复合弹性研抛盘的动压光整系统有效
申请号: | 201220060754.2 | 申请日: | 2012-02-24 |
公开(公告)号: | CN202540128U | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 金明生;计时鸣;敖海平;张利;文东辉 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B24B37/26 | 分类号: | B24B37/26 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 王兵;黄美娟 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 分级 结构 复合 弹性 研抛盘 压光 系统 | ||
1.基于分级结构化复合弹性研抛盘的动压光整系统,其特征在于:包括工作台和架设在工作台上的研抛盘,所述研抛盘连接研抛盘驱动装置,所述研抛盘驱动装置由电机和减速器组成,用于控制研抛盘转动,其特征在于:所述的研抛盘由外向内具有粗磨圈(9)、细磨圈、精磨圈和抛光内圈;所述的研抛盘表面布设有用于流通抛光液的流道;动压调节装置将工件压在研抛盘上;
所述动压调节装置的支撑导向体一端安装在工作台上;所述动压调节装置连接有驱动其在研抛盘表面移动的转动装置和用于提供动压的动压控制装置;
所述动压调节装置包括支撑导向体,所述支撑导向体为带有支撑臂的圆筒结构,所述支撑导向体上安装有应力检测元件,所述支撑导向体的圆筒内从上到下依次安装有电磁装置、磁性运动块和加压块,所述电磁装置固定在支撑导向体的圆筒上,包括电磁线圈和铁芯,所述电磁线圈套在铁芯外围,所述磁性运动块可在支撑导向体的圆筒内上下运动,具有永磁性,所述加压块通过轴承与磁性运动块相连,将研抛盘和加压块之间的工件压在研抛盘上。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述转动装置由电机和减速器组成,并与用于控制电机转速的转动控制机构相连。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于:所述工作台上配有液体喷射装置,所述液体喷射装置的总导管通过旋转头分出数根支导管,所述支导管与均布在研抛盘结构化表面上的流道相连。
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